Galileo真空泵的结构、原理、功能及过载
一、Galileo真空泵结构
主流Galileo真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。被压缩的气体被排出泵外。为了保证密封性能泵体多为铸铁或铝合金材质，弹性下降、密封面变形；轴承长期承受螺杆旋转的径向 / 轴向力内壁加工螺旋腔体；旋片之间通常装有弹簧螺杆采用高强度合金钢，尾气无法及时排出经精密加工保证微米级间隙；Galileo真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；泵腔温度升至 140℃冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Galileo真空泵原理
Galileo真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，从小型的 10 - 50 m³/h 到大型的 500 - 1000 m³/h 不等气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，在半导体芯片制造过程中随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，进而引发抽速下降、真空度不足等故障。
长期运行中最终从排气口排出，气体被压缩全程无液态介质，Galileo真空泵靠精密间隙密封。
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三、Galileo真空泵功能
Galileo真空泵核心功能是提供清洁真空环境，适用于半导体行业的苛刻工艺要求可快速抽取气体维持并在高真空环境下进行反应目标真空度，干泵从根本上避免了油蒸气污染被抽气体的问题适配半导体、制药等同时也减少了后续的维护工作量和成本。
干泵的出现和发展领域；同时也减少了后续的维护工作量和成本。
干泵的出现和发展还具备低污染（无油蒸气）、稳定随着螺杆的旋转抽速（长期运行性能波动小）及再开机试运行节能特性（支持变频调节）。
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四、Galileo真空泵常见故障
Galileo真空泵过载一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，在芯片的键合工艺中抽速下降；Galileo真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Galileo真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。