2026年4月3日，日本理研株式会社（RION）联合国立研究开发法人产业技术综合研究所（产总研）及铠侠株式会社（原东芝存储器），共同宣布将于4月10日正式发售全球首款“流体力学式液中粒子计测器PT-01F”。该产品基于创新的“流场粒子追踪法（FPT）”，突破了传统光散射技术的局限，能够实时测定流体中微细粒子的尺寸、数量及折射率等物性参数，标志着微粒子检测技术迈入新阶段。
传统的光散射式液中粒子计数器（LPC）主要依赖光散射等效直径来统计粒子浓度，难以区分粒子的真实几何尺寸与材质属性。PT-01F则通过追踪粒子在流场中的布朗运动，利用扩散系数反推接近几何尺寸的粒子径，并结合散射光强度估算折射率。这种双重解析机制，使得设备不仅能“数”出粒子，还能“识”别粒子，为半导体制造中的缺陷分析提供了更精准的数据支撑。
此次技术突破源于日本在纳米缺陷管理领域的长期积累。项目最初由产总研与东芝（现铠侠）在NEDO（新能量·产业技术综合开发机构）的支持下启动，旨在开发纳米缺陷管理的基盘技术。经过2016年至2018年的联合研发，以及随后国内16家相关厂商的先行评估，最终由理研主导完成了产品化。该成果曾在2018年国际半导体制造研讨会（ISSM）上首次公开，展现了日本在精密测量领域的深厚技术储备。
在半导体制造日益精细化的背景下，超纯水和药液的微粒管理直接关系到良品率。日本半导体产业对生产环境的要求极为严苛，传统的检测手段往往只能提供尺寸分布，无法判断粒子是气泡、氟树脂还是金属杂质，导致故障排查周期长。PT-01F通过生成以折射率为纵轴、粒子径为横轴的“折射率分布图”，能够直观区分不同材质的微粒，帮助工程师快速定位导致良率下降的根源，显著缩短设备调试与故障排除时间。
该设备具备多项核心优势，包括在流场中实时追踪布朗运动实现在线监测、支持30纳米至100纳米（纯水标准粒子）的粒径范围及1.0至2.6的折射率测量、以及采用耐化学腐蚀材质以适应多种药液环境。这些特性使其特别适用于半导体制造过程中的超纯水监控、药液品质管理及晶圆清洗效果评估等关键场景。
值得注意的是，PT-01F目前仅面向日本****提供，暂不支持海外销售与技术支持，这反映了日本高端精密仪器在特定领域“先内后外”的谨慎策略。对于中国半导体及精密制造行业而言，这一产品的问世揭示了未来粒子检测技术向“多维物性分析”转型的趋势。随着国产半导体产线对超纯水和药液纯度要求的不断提升，国内设备厂商应关注此类融合流体力学与光学原理的测量技术，加快在微纳尺度粒子表征领域的自主研发，以应对日益复杂的工艺挑战。