亦盛科技WE-2XX系列激光保护液，晶圆开槽散热防溅易清洗

广州亦盛新材料科技有限公司自主研发的WE-2XX系列半导体激光保护液 | 晶圆激光开槽专用，散热防喷溅易清洗，适用Low-k/SiC/GaN切割

应用背景：随着芯片制程工艺的不断进步，铜互连工艺和low-k材料被引入使用，传统刀片切割易出现崩缺或裂纹等不良，目前激光开槽技术为主流工艺，半导体激光保护液作为伴生产品。

产品介绍：亦盛科技激光保护液为多功能复合材料，主要应用于晶圆激光切割，避免激光切割喷溅破坏晶圆表面。产品具有散热、阻热、冷却功能，能有效降低热效应，阻止镭射的热能扩散造成切割道过大，有效防止切割后的碎屑喷溅到工件表面。切割后的保护液膜容易被移除，不伤及表面。亦盛科技研发经验丰富，还可以根据客户要求定制，研发可跟线指导。目前量产的激光保护已经导入国内半导体企业大厂使用，反馈效果良好。

亦盛科技激光保护液性能特点：

●运用于半导体先进晶圆雷射开槽切削

●用于散热、阻热、冷却、润滑、防喷溅之雷射保护液

●具有优异的散热、阻热、冷却功能

●具良好的润滑性能及易加工、易操作性、易清洁等特性

激光保护液全系列产品适用工艺：开槽工艺/半切工艺/全切工艺/

激光保护液运用：

* 硅基晶圆激光切割；

* GaAs、InP晶圆激光切割；

* SiC、GaN激光切割；

使用方法：将激光保护液以喷涂或是涂布的方式，均匀的分布在晶圆表面后进行镭射切割。

产品参数：粘度20±10 cp/粘度60±10 cp / 粘度220±10 cp（详情可咨询）。

包装规格：5升/桶、20升/桶。

保质期：12个月。

注意事项：未使用完的切割液须将壶盖拧紧，避免水分、杂油及杂质混入。

样品申请与技术支持：免费提供样品测试，详情请咨询销售顾问。

#广州亦盛新材料科技有限公司

亦盛科技成立于2008年，是国家高新技术企业、国家知识产权优势企业及科技型中小企业，并获评为创新型中小企业。亦盛科技亦是广东省专精特新中小企业和广东省工程技术研究中心，亦为广东省知识产权示范企业，也曾获评名优高新技术产品企业及科技型企业 。并且，公司通过了ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全管理体系等认证，是一家质量有把关的生产厂商，是客户值得信 赖的合作伙伴。