电子工业用气体氨化学式NH3，属于超高纯电子特气，经过多级精馏、深度过滤、痕量杂质脱除工艺精制，严格去除水分、氧气、一氧化碳、二氧化碳、碳氢化合物、金属离子及固体颗粒物等微量杂质，无色、具有刺激性气味，化学性质活泼，可作为氮源前驱体参与高温气应。电子级氨气氮源纯度高、杂质控制达到ppb甚至ppt级别，高温工况下反应均匀性好，组分稳定，不会引入多余污染物破坏晶圆薄膜结构。广泛用于半导体CVD/ALD沉积氮化硅薄膜、LED氮化镓外延生长、光伏电池片镀膜、显示面板制造、集成电路刻蚀掺杂等微电子领域。利用其高纯氮源属性，作为MOCVD、PECVD工艺核心原料气，直接决定外延片发光效率、芯片良品率与器件使用寿命。
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