日本半导体封装设备厂商Avaco（阿瓦科）于8月11日宣布，已联合其关联公司AVATEC（阿瓦泰克）正式启用一条TGV（Through-Glass Via，玻璃通孔）工艺中试生产线。该产线位于日本，专为验证下一代先进封装用大尺寸玻璃基板的全流程制造可行性而建，核心目标是打通从激光钻孔到光学质检的完整工艺链，而非仅测试单台设备性能。
这条中试线于今年上半年完成建设，可稳定处理515 × 510毫米规格的超大尺寸玻璃基板——这一尺寸已接近当前主流G8.5代显示玻璃基板（约2200×2500毫米）的四分之一，远超传统硅基或有机基板尺寸，直接对应Chiplet异构集成对高密度互连载体的需求。产线整合了激光钻孔、碱性湿法刻蚀、种子层沉积和光学缺陷检测四大核心工序，全部在单一洁净产线内闭环运行，避免跨设备转运导致的对准偏移与污染风险。
Avaco自2023年起系统布局TGV装备与工艺技术，其第二代旗舰激光钻孔系统AXIUM AP-250K采用双光路光学头设计，实测钻孔速率可达每秒10,000孔，且孔径公差控制在±5微米以内。该精度水平足以支撑直径50–100微米、深宽比达10:1以上的高深宽比通孔加工，满足HBM3内存堆叠中玻璃中介层（Interposer）对孔壁垂直度与侧壁粗糙度的严苛要求。该系统未采用传统准分子激光器，而是基于光纤激光+高速振镜组合，在保证精度的显著降低设备功耗与维护频次。
碱性湿法刻蚀与种子层沉积实现工艺闭环
除激光钻孔外，Avaco已同步掌握碱性湿法刻蚀技术，并配套部署专用种子层沉积设备。不同于PCB行业惯用的酸性蚀刻体系，碱性体系（如NaOH/KOH混合溶液）对玻璃基体腐蚀更均匀，尤其适用于硼硅酸盐玻璃（如康宁Corning Eagle XG）等低热膨胀系数材料，可将刻蚀后孔壁粗糙度控制在Ra＜0.8 nm，大幅降低后续金属填充空洞率。种子层沉积环节则融合物理气相沉积（PVD）与混合沉积工艺，在玻璃表面形成厚度均匀性优于±3%的钛/铜复合层，为后续电镀铜填充提供高附着力、低电阻率的起始界面。
整条中试线配备全自动光学检测系统，可对每个TGV孔的直径、深度、锥度、边缘毛刺及孔间间距进行全检，并生成结构化数据流，直接接入未来量产线的SPC（统计过程控制）系统。Avaco透露，该检测系统已通过与多家玻璃供应商签署NDA，适配包括康宁（Corning）、肖特（SCHOTT）、旭硝子（AGC）在内的主流玻璃材料，覆盖热膨胀系数（CTE）2.5–7.0 ppm/℃范围内的多种配方，确保工艺窗口兼容性。
2026–2027年分阶段交付样品，瞄准海外封装厂验证周期
Avaco与AVATEC明确规划了样品交付节奏：2026年将向海外客户（主要为韩国、台湾地区及美国IDM封测厂）提供首批TGV玻璃基板样品，尺寸覆盖100 × 100毫米至515 × 510毫米全系列，所有样品均已完成激光钻孔并沉积种子层，可供客户直接开展电镀填充与键合工艺验证；2027年则升级为“ metallized substrates”——即完成激光钻孔、碱性刻蚀、种子层沉积、铜填充及化学机械抛光（CMP）五道工序的全制程玻璃基板，可直接用于晶圆级封装（WLP）或2.5D/3D集成测试。
目前，Avaco正与多家海外客户就技术协作与量产合作进行实质性洽谈，重点对象包括具备先进封装能力的OSAT厂商及垂直整合型IDM。其策略并非单纯出售设备，而是以“设备+工艺包+量产支持”打包形式切入——AVATEC凭借在显示玻璃蚀刻领域积累的20年量产经验，负责工艺稳定性管控与良率爬坡；Avaco则主导设备迭代与定制化开发。双方强调，中试线的核心价值在于验证整线工艺重复性，即同一参数设定下连续72小时运行的孔径变异系数（CV值）＜3.5%，这是客户评估是否启动产线投资的关键门槛。
对中国封装设备商与玻璃基板采购方的实际参考
对中国大陆封测厂而言，该中试线进展意味着TGV玻璃基板量产时间表正加速收敛。当前国内尚无企业具备515毫米级玻璃基板TGV全制程验证能力，多数仍停留在小尺寸（≤300毫米）实验室阶段。若2026年海外客户验证顺利，2027–2028年可能触发首条千片/月级量产线建设，届时对国产玻璃基板、高精度激光设备、特种蚀刻液及PVD靶材的需求将集中释放。采购端需重点关注：玻璃基板供应商是否已通过Avaco中试线工艺认证（非单纯材料认证）；激光设备厂商是否具备双光路高速钻孔与亚微米级在线校准能力；以及蚀刻液供应商能否提供匹配碱性体系的低金属离子残留配方——这直接影响后续电镀良率。
对国内TGV设备开发商而言，Avaco的技术路径具有强参照性：放弃追求单点参数极限（如最细孔径），转而强化多工序耦合下的工艺鲁棒性。其将光学检测数据实时反馈至激光参数动态补偿的做法，值得在国产设备中试阶段提前布局。AVATEC的参与提示一个关键事实：玻璃基板量产不仅是设备问题，更是蚀刻工艺Know-how与洁净室运维经验的长期积累，单纯设备采购无法跨越这一门槛。