电子级异丙醇——湿法清洗中用量较大的“通用型”高纯溶剂
异丙醇(IPA)是半导体制造中用量较大的有机溶剂之一,广泛用于晶圆终清洗、硅片干燥、光刻胶稀释和洁净室清洁等环节。山东安达化工电子级异丙醇的纯度≥99.9%,水分≤0.05%,蒸发残渣≤1ppm,金属杂质(31种元素)单项≤1ppb,颗粒物(≥0.5μm)≤30个/mL。
在晶圆的后清洗工序,异丙醇常以蒸汽或液体形式用于马兰戈尼干燥,其低沸点(82.6°C)和低表面张力使得晶圆表面水膜能够被有效去除而不留下水渍。山东安达化工的电子级异丙醇采用催化加氢工艺路线,从原料端就确保了较低的xijing和quan类杂质含量。产品经亚微米级过滤后灌装,包装环境洁净度达到Class 100。
山东安达化工为客户提供EL级、UL级和溶剂级三个品级的异丙醇,分别适用于不同洁净度要求的工艺环节。其中UL级产品经同位素稀释质谱法(IDMS)定值,可作为SEMI标准物质的配制溶剂使用。
