电子级正辛烷——半导体硅片疏水化处理中的高纯烃类溶剂
正辛烷作为高碳数饱和烃类溶剂,在硅片的疏水化处理工序中用于在亲水性硅表面涂覆烃类薄膜,改善硅片在后道工序中的抗湿性能。在有机金属化学气相沉积(MOCVD)前驱体的配制中也作为非极性溶剂使用。山东安达化工电子级正辛烷的纯度≥99.0%,水分≤0.005%,芳烃≤5ppm,烯烃≤2ppm,蒸发残渣≤2ppm。
该产品的重要指标是异构烷烃杂质的控制。正辛烷中可能共存的2-甲基庚烷、3-甲基庚烷等异构体在疏水化处理中会导致膜层有序度下降,影响疏水效果的一致性。山东安达化工采用尿素络合分离和精馏相结合的工艺,将总异构体含量控制在1%以下,确保产品的主成分含量批间波动不超过±0.5%。
在MOCVD前驱体(如三甲基铝、二乙基锌)的配制中,正辛烷作为稀释溶剂使用,其超低水含量(≤20ppm)和金属杂质含量(总金属≤1ppb)能够有效防止前驱体的水解和金属污染。山东安达化工在该应用场景下提供“特干型”规格,采用经特殊干燥处理的不锈钢瓶包装,每瓶独立检测报告附送。
