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4J36 因瓦合金 Invar36 低膨胀系数 激光仪器 低温设备

发布时间:2026-09-05 08:55  点击:1次
4J36 因瓦合金 Invar36 低膨胀系数 激光仪器 低温设备

4J36(殷钢 / Invar36)

国外对应:Invar36,UNS K93600,德标 1.3912;国标低膨胀铁镍精密合金。 重点:光刻机、OLED 蒸镀 FMM 掩膜板主流基材,就是前面聊的超薄轧制箔材常用材质。

化学成分 (wt%)

Ni:35.0‑37.0,Fe 余量;C≤0.05,Mn0.2‑0.6,Si≤0.30,S、P 严控≤0.02

物理参数

核心特点

  1. 超低热膨胀,温度波动下尺寸高度稳定,精密光学设备刚需

  2. 可轧制极薄带材,适合蚀刻、光刻加工;OLED FMM 金属掩膜板核心材料

  3. 铁磁性;超过 230℃,低膨胀性能消失,不能长期高温使用

  4. 杂质 C/S/P 会直接恶化膨胀系数,采购务必要求材质证书

典型应用

光刻机光学支架、狭缝光阑薄片;OLED 蒸镀 FMM 掩膜版;半导体封装基座;激光仪器、卫星精密结构件;钟表零件、低温设备零部件

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