4J36(殷钢 / Invar36)
国外对应:Invar36,UNS K93600,德标 1.3912;国标低膨胀铁镍精密合金。 重点:光刻机、OLED 蒸镀 FMM 掩膜板主流基材,就是前面聊的超薄轧制箔材常用材质。
化学成分 (wt%)
Ni:35.0‑37.0,Fe 余量;C≤0.05,Mn0.2‑0.6,Si≤0.30,S、P 严控≤0.02
物理参数
密度:8.10 g/cm³
20‑100℃线膨胀系数:1.2~1.8×10⁻⁶/℃,远低于普通钢材,温度变化尺寸几乎不变
居里温度≈230℃,超过该温度低膨胀特性失效
退火态硬度 HV140‑190;冷轧可做 0.005mm(5μm)超薄带材,可蚀刻加工
核心特点
超低热膨胀,温度波动下尺寸高度稳定,精密光学设备刚需
可轧制极薄带材,适合蚀刻、光刻加工;OLED FMM 金属掩膜板核心材料
铁磁性;超过 230℃,低膨胀性能消失,不能长期高温使用
杂质 C/S/P 会直接恶化膨胀系数,采购务必要求材质证书
典型应用
光刻机光学支架、狭缝光阑薄片;OLED 蒸镀 FMM 掩膜版;半导体封装基座;激光仪器、卫星精密结构件;钟表零件、低温设备零部件
