MKS电源维修RPG-50A射频电源维修OPTIMA RPG系列均可维修
服务品牌：
AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。
ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。
维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、
射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。
温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等