表面光电压JPV\SPV测试仪

一、产品描述

主要利用结光电压技术非接触测试具有P/N或N/P结构的样品的方阻(发射极薄层方阻）。

二、主要特点

本仪器为非接触，非损伤测试，具有测试速度快，重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片等优点