四甲基氢氧化铵
别 名 四甲基氢氧化铵溶液 | 显影液TMAH
英文名 Tetramethylammonium hydroxide
CAS号 75-59-2
EINECS 200-882-9
分子式 C4H13NO
分子量 91.152
密 度 0.866 g/mL
沸 点 110 °C
熔 点 62-71°C
闪 点 80 °F
性 状 无色结晶
溶解性 溶于水和乙醇等
用 途
1.用作极谱分析试剂
2.用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等
3.在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等
