射频电源维修RF generator ENI(MKS) OEM-2000
广东射频电源维修故障现象:有Ua无Ia 原因及广东射频电源维修解决办法:Ua接线断、表头上虽有Ua而电子管上没有; 2. 故障现象:有Ua,Ia小,无Pf和Pr。 原因及广东射频电源维修解决办法
射频电源常见故障及维修：
故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮； 故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮； 故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）
故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮:；故障现象5：无功率输出； 故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。 故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏
