良益LCL-13薄膜测厚仪 厚度范围:20nm-50um(只测膜厚),100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k)根据薄膜材料的种类,其范围有所不同准确度:<1nm或<0.5%可测层数:1-4层
良益LQX-4信息光学实验系统 He-Ne激光器:中心波长632.8nm,输出功率>1.5mW白光源:6V,15W光学元件:凸透镜(f=225,f=190,f=150,f=4.5),分束器(7:3,5:5),平面反射镜
良益LGD-17 PSD位置传感实验仪 光源:650nm半导体激光器,5mW,直线驱动,带准直调节固定架一维PSD:光敏区:1mm*5mm,光谱范围:380-1100nm,峰值响应度:0.5A/W,位置分辨率:<0.5um 暗电流:10nA(Vr=5V),极间电阻:50K欧姆电压表:200mA、2V、20V、200V、四档可调,精度0.2%