半导体薄膜测试机构 XRD物相分析

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2022-09-23 10:43:40
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

布拉格方程——XRD理论的基石

  布拉格方程是X射线在晶体中产生衍射需要满足的基本条件,其反映了衍射线方向和晶体结构之间的关系。

布拉格方程:2dsinθ=nλ

  其中,θ为入射角、d为晶面间距、n为衍射级数、λ为入射线波长,2θ为衍射角

  注意:

  (a)凡是满足布拉格方程式的方向上的所有晶面上的所有原子衍射波位相完全相同,其振幅互相加强。这样,在2θ方向上面就会出现衍射线,而在其他地方互相抵消,X射线的强度减弱或者等于零

  (b)X射线的反射角不同于可见光的反射角,X射线的入射角与反射角的夹角永远是2θ。

  (3)谢乐公式——测晶粒度的理论基础

  X射线的衍射谱带的宽化程度和晶粒的尺寸有关,晶粒越小,其衍射线将变得弥散而宽化。谢乐公式又称Scherrer公式描述晶粒尺寸与衍射峰半峰宽之间的关系。

  K为cherrer常数,B为衍射峰半宽高,K=0.89,若B为衍射峰积分宽度,k=1

  θ为衍射角、λ为x射线波长,d为垂直于晶面方向的平均厚度

  注意:利用该方程计算平均粒度需要注意:

  (1)为半峰宽度,即衍射强度为极大值一半处的宽度,单位为弧度

  (2)测定范围3-200nm



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XRD制图有哪些常用软件?

有High score,Jade,Search match,比较常用的是前两种。

High score优势:

1.可以调用的数据格式更多;

2.窗口设置更人性化,用户可以自己选择;

3.谱线位置的显示方式,可以更直接地看到检索情况;

4.手动加峰或减峰更加方便;

5.可以对衍射图进行平滑等操作,使图更漂亮;

6.可以更改原始数据的步长、起始角度等参数;

7.可以进行O点校正,对峰的外形进行校正;

8.可以进行半定量分析;

9.可以编写批处理命令,对于同一系列的衍射图,XRD物相分析价格,—键搞定。

Jade优势:

1.可以进行衍射峰的指标化;

2.进行晶格参数的计算;

3.根基标样对晶格参数进行校正;

4.轻松计算峰的面积、质心;

5.出图更加方便,可以再涂上进行编辑。





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X射线衍射技术(XRD)的发现距今以及有一百年,历有三次的诺贝尔奖()都与它有关。如今,它已经是材料科学中基本的表征手段。通过XRD测试,我们可以知道材料的结构、晶胞参数和缺陷情况等。下面,我们就一起来深入了解一下XRD的原理以及应用吧!

  XRD工作原理

  X射线衍射作为一电磁波投射到晶体中时,会受晶体中原子的影响出现衍射现象。每种晶体内部的原子排列方式是制定的,广西壮族自治XRD物相分析,因此对应的衍射花样是制定的,从而可以进行物相分析。

  便携式XRD分析仪

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