吉林XRD掠入射（GIXRD） 半导体研究所

半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，吉林XRD掠入射（GIXRD），从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

晶体晶粒细化，XRD掠入射（GIXRD）服务，多晶试样中存在宏观应力时，衍射花样的变化情况是怎样？

　　不管是粉末试样还是（多）晶体试样，XRD掠入射（GIXRD），粉末颗粒或晶粒太粗，参加衍射的晶粒少，会使衍射线条起麻，XRD掠入射（GIXRD）费用，衍射的重现性但粉末颗粒或晶粒过细时，会使衍射线条变宽，这些都不利于分析工作。存在宏观内应力的效应是使得衍射环或衍射峰的位置改变，导致底片上的衍射线条变宽，不利于分析工作。

欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD掠入射（GIXRD）

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我想知道不同衍射角对应的晶面，怎么办？

　　如果你的图能够找到对应的粉末衍射数据卡，那么问题就简单了。多数的粉末衍射数据卡上面都给出了各衍射线的衍射指标，也就可以知道对应的晶面了。

　　如果是未知晶体结构的图，就需要求解各衍射线的衍射指标，这一步工作叫做"衍射图的指标化"。如自己解决需要具备基础的晶体学知识，然后学会一两个指标化的工具软件（如treaor90）进行尝试。

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XRD主要测什么?

1、晶体结构分析;

2、物相定性分析;

3、物相定量分析;

4、晶粒大小分析;

5、结晶度分析;

6、宏观应力和微观应力分析;

7、择优取向分析

XRD图谱怎么分析?

1、在衍射仪获得的XRD图谱上，如果样品是较好的"晶态"物质，图谱的特征是有若千或许多个一般是彼此独立的很窄的“尖峰”。

2、如果这些“峰”明显地变宽，则可以判定样品中的晶体的颗粒尺寸将小于300nm，可以称之为"微晶"。

3、Scherer(118)揭示了衍射峰的增宽是对应晶面方向上的原子厚度(县数|不足以在偏离Bragg条件下相干减弱(destructivelyinterference)衍射峰。当衍射峰宽度增加到接近其高度时(或高度下降到接近其宽度时)，可认为样品是非晶。

4、同一物质的话，峰窄说明晶粒比较大，和结晶度无关。同一台仪器测试且测试条件相同的情况下，峰高的比较多才能说明结晶情况较好

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