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- 2022-09-27 11:12:58
半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
设备介绍:
X射线/紫外光电子能谱仪(XPS/UPS)利用X射线(或者紫外线)照射样品激发出光电子,XRD摇摆曲线多少钱,并通过检测和分析光电子动能大小与光电子信号强度的关系,确定样品中所含元素种类及其化学态。Nexsa具备XPS、UPS功能,可采用微聚焦小光斑(小10 μm)实现微区成像与成分分析,并具有深度剖析功能,可以检测分析块体、薄膜、粉末或器件等固体样品的元素组成、化学价态、价带、功函数等信息。
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特别是混合物,各相之间的MAC都随所选波长而变化,波长选择不当很可能造成XRD定量结果不准确。
因为不同元素MAC突变拥有不同的波长,该波长就称为材料的吸收限,若超过了这个范围就会出现强的荧光散射。所以分析样品中的元素选择靶材时,浙江XRD摇摆曲线,一般选择原子序数比靶的元素的原子序数小1至4。就会出现强的荧光散射。例如使用 Fe 靶分析主要成分元素为 Fe Co Ni 的样品是合适的,而不适合分析含有Mn Cr V Ti 的物质常见的阳极靶材有:Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W,常用的是Cu靶。
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广角XRD
广角、小角XRD因测试角度范围而得名,广角即测试范围为10-120 °,常规广角测到90 °即可,有机材料或者有机金属配位材料一般测到四五十度也是可以的。广角XRD是常用到的测试条件,有机、无机材料判断晶型、物相类型、PDF卡片等基本都是通过广角XRD测试得到的谱图分析得到的。一般大家口中的XRD,没有特别说明测试条件的都是指的广角XRD,有时为了区别于块体薄膜这些样品形态的,也叫PXRD,即粉末XRD。
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