XRD残余应力哪里有 半导体薄膜测试机构 天津XRD残余应力

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2022-10-01 11:00:11
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

没有它的粉晶射线图,但是有根据其单晶 X 射线衍射推算出来的晶胞参数,请问我怎么才能反推算出该晶体的粉晶衍射图?

  如果你有结构数据,就可以从理论上算出粉末衍射图的,可以使用 Materials Studio 的 reflex plus 模块算出来;有原子坐标,通过 diamond 也可以得到它的粉末 XRD 图。

  如何分析出其晶体结构而确定是我们预期的物质呢?

  如果能够在 ICDD 的粉末衍射数据库中找到你预期的物质的衍射据,做一个 XRD 鉴定即可确定。

  用 Jade5 软件可以进行 XRD 定量分析吗?

  XRD 定量分析的基础数据是样品中各组成物相的强度数据(原理上应该用峰的面积数据),余下的工作便是些乘除比例的运算了,XRD残余应力哪里有,使用表格软件(如 WPS Ofice 的"WPS 表格"、微软的 Excel)完成甚为方便。因此,使用任一能够获得峰面积或峰高的软件工具都可以进行 XRD定量分析,当然,XRD残余应力联系方式,有 Jade 软件更为方便。



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xrd峰偏移原因有哪些

XRD峰值向左偏移通常是指向小角度偏移,意味着变大,常见是掺入了比主体大的杂原子出现“掺杂”,杂质原子会使晶胞参数变大或变小;如果左移,说明晶胞参数变大,晶面间距变大;制样时要尽量使样品和样品板相平,制样做出的数据才准确.如样品高于样品板参照面就会使衍射峰左移。

  如果不是全谱所有峰都发生位移而只是少数或个别高角度峰发生位移,则不是掺杂原子引起变化所致,很可能是存在宏观,引起晶格畸变的反映.宏观可能引起晶格收缩,对某些为压应力时峰向高角度发生位移,反之为拉应力时衍射峰向低角度发生位移。



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XRD物相分析

基本原理:每一种晶体物质和它的衍射花样都是一一对应的,不可能有两种晶体给出完全相同的衍射花样。随着XRD标准数据库的日益完善,XRD物相分析变得越来越简单,目前常见的操作方式是将样品的XRD谱图与标准谱图进行对比来确定样品的物相组成。XRD标准数据库包括JCPDS(即PDF卡片),天津XRD残余应力,ICSD,CCDC等,分析XRD谱图的软件包括Jade,Xpert Highscore等,这里推荐使用Jade。在Jade软件中,专门有一个功能叫Identify。里面的Search/Match功能可以将样品的衍射图样与标准谱图进行对比,给出与所测样品相吻合的标准谱图信息。在Jade的Search/Match功能中会给出标准谱图的衍射条纹,物相名称,化学式,匹配程度(FOM),PDF卡片编号,点群,XRD残余应力,晶胞参数,ICSD编号等。其中,FOM为匹配率的倒数,值越小,匹配越好。双击选中的标准物质卡片,会弹出来标准物质详细的references和衍射数据值,该数据可以导出使用。图中所示比较重要的数据包括晶面间距d, 晶面指数hkl以及标准谱图衍射峰位置和相对强度等。





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