广西壮族自治半导体衬底 半导体XRD物相分析

半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

X射线产生原理

　　X射线是一种频率很高的电磁波，其波长为m远比可见光短得多，因为其穿透力很强，并且其在磁场中的传播方向不受影响。小提示：X射线具有一定的辐射，对人体有一定的副作用，目前主要铅玻璃来进行屏蔽。

　　X射线是由高速运动的电子流或其他高能辐射流（γ射线、中子流等）流与其他物质发生碰撞时骤然减速，且与该物质中的内层原子相互作用而产生的。

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设备介绍：

X射线/紫外光电子能谱仪（XPS/UPS）利用X射线（或者紫外线）照射样品激发出光电子，并通过检测和分析光电子动能大小与光电子信号强度的关系，确定样品中所含元素种类及其化学态。Nexsa具备XPS、UPS功能，广西壮族自治半导体衬底，可采用微聚焦小光斑（小10 μm）实现微区成像与成分分析，并具有深度剖析功能，可以检测分析块体、薄膜、粉末或器件等固体样品的元素组成、化学价态、价带、功函数等信息。

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XRD是什么意思?

XRD是英文X-ray diffraction或者X-Ray Difractomet的缩写，即X射线衍射，或X射线衍射仪，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。我们经常也把X射线衍射分析技术直接称为XRD分析，半导体衬底哪家好，或者简称为XRD。

XRD的分析手段有2种，分单晶X射线衍射法，多晶X射线衍射法。对应地，所用的XRD设备，也分为单晶衍射仪和多晶衍射仪。XRD的测试原理是怎样的?

XRD的测试原理，是Bragg方程，即n=2*d*sin8，其中N为入射线波长，d为晶面间距，0为衍射角。换言之，XRD对于晶体结构的测试才是有效的。因为晶体都会存在其特有的结晶学特征，也就是空间点阵，14种Bravais格子代表了其晶格类型，半导体衬底机构，晶面参数又限定了其结点间的相对数量关系。于是，参考Bragg方程，让X射线通过晶体，只要满足Bragg衍射条件，便能提供晶体内原子排布的信息。所以，不管是采用德拜照相法、衍射仪法等，都会在8角观测到衍射。当然，也可以说XRD的基础是Laue衍射条件，但其实它和Bragg衍射条件本质是一致的，只是表达不同。

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