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- 2022-10-06 10:48:40
半导体衬底单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
在XRD中,半导体衬底机构,峰强比是什么意思
XRD衍射峰是物质各个晶体衍射面对X射线的散射,峰强度反映晶体各个衍射面的晶面情况,强度越高,则沿该衍射面的结晶性越好。所以峰强比实质是反映晶体沿各个方向(如100、010、001)生长情况。
什么是xrd分析
研究X射线波长和一般晶体晶格参数发现,两者的尺寸是数值相当或比较接近,从而有科学家断言,半导体衬底费用多少,晶体晶格是X射线发生衍射现象的天然栅栏!后来果然得到了验证。晶体是这样;非晶体的物质没有这种有规律的格子排列格局,当然就不能获得X射线衍射现象了。
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XRD同一种杂质在不同试样检测中峰位置不一样
杂质在不同试样出峰不一定一样,杂质有自己的特征峰,特征峰里有强峰也有弱峰,XRD测试图谱中,杂质在试样里不一定会出强特征峰,但是一般会出一些特征峰,对比杂质的特征峰可以判断杂质存在与试样中。通过特征峰只能证明杂质的存在,不能看出含量多少,要测含量多少还得做进一步测试,广西壮族自治半导体衬底,比如XRF或元素分析。
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在金属中的主要应用有以下方面:
物相分析 是X射线衍射在金属中用得多的方面,又分为定性分析和定量分析。定性分析是把对待测材料测得的点阵平面间距及衍射强度与标准物相的衍射数据进行比较,以确定材料中存在的物相;定量分析则根据衍射花样的强度,确定待测材料中各相的比例含量。
取向分析 包括测定单晶取向和多晶的结构(如择优取向)。测定硅钢片的取向就是一例。另外,为研究金属的范性形变过程,如孪生、滑移、滑移面的转动等,也与取向的测定有关。
晶粒(嵌镶块)大小和微观应力的测定 由衍射花样的形状和强度可计算晶粒和微应力的大小。在形变和热处理过程中这两者有明显变化,它直接影响材料的性能。
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