半导体薄膜测试机构 XRD小角度检测机构

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2022-10-11 10:19:08
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,XRD小角度检测实验室,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,XRD小角度检测平台,以及行业应用技术开发。

应用领域:

XPS因其独有的元素化学态识别功能,广泛应用于固体物理学、材料科学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、微电子技术、半导体、新能源等各个领域的材料与器件的检测分析。

l 元素种类以及含量(半定量)

l 元素化学价态、化学键分析

l 元素浓度随深度分布

l 不同化学态的各种元素在表面分布成像

l 材料或器件的微区分析

l 薄层成分、膜层厚度以及界面结构、元素偏析迁移等信息

l 器件表面不同位置的镀层结构或污染来源

UPS广泛应用于物理化学、有机化学、表面物理、太阳能电池等各个领域的材料表面电子态的检测分析。

l 价电子能带谱

l 功函数



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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,安徽XRD小角度检测,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

X射线衍射技术(XRD)的发现距今以及有一百年,历有三次的诺贝尔奖(1914,1915,XRD小角度检测机构,1936)都与它有关。如今,它已经是材料科学中基本的表征手段。通过XRD测试,我们可以知道材料的结构、晶胞参数和缺陷情况等。下面,我们就一起来深入了解一下XRD的原理以及应用吧!

  XRD工作原理

  X射线衍射作为一电磁波投射到晶体中时,会受晶体中原子的影响出现衍射现象。每种晶体内部的原子排列方式是制定的,因此对应的衍射花样是制定的,从而可以进行物相分析。

  便携式XRD分析仪

  布拉格方程是X射线在晶体中产生衍射需要满足的基本条件,其反映了衍射线方向和晶体结构之间的关系。




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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

SAXS

SAXS又称为小角x射线散射,如果试样具有不同电子密度的非周期性 结构(晶区和非晶区),则x射线被不相干 散射,有波长的改变,这种过程称为漫射x射线衍射效应(简称散射),在小角度上测定所以又称为:小角x射线散射 (SAXS)。

WAXD

WAXD又称为大角X射线衍射,如果试样具有周期性结构(晶区),则x射线被相干散射,入射光与散射光之间没有波长的改变, 这种过程称为x射线衍射效应,在大角度上测定:又称为大角X射线衍射(WAXD)



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