广东XRD残余应力检测 半导体薄膜测试机构

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2022-10-12 10:34:14
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XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度


谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算

D:晶粒尺寸(不叫离子尺寸的)

k:0.89

λ:XRD测试的x射线的波长,XRD残余应力检测分析,一般分kα1和kα2,具体用那种需要问测试老师。

FWHM:半高宽

θ:衍射角

具体方法:选定强的衍射峰,测量其衍射角和半高宽(可用jade读取),然后带入公式计算即可。






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EDS,XRD和XPS进行成分分析的相同点和不同点是什么

任何结晶物质都有其特定的晶体结构参数,当X射线通过晶体时,产生特定的衍射图形,即衍射谱线,不同物质混在一起时,它们各自的衍射数据将同时出现,互不干扰地叠加在一起。因此,可根据各自的衍射数据来鉴定各种不同的物相。

  XRD物相定性分析是将样品的衍射数据与已知物相的衍射数据或图谱进行对比,一旦二者相符,则表明待测物相与已知物相是同一物相。

  灵敏度较低,一般只能测定样品中含量在1%以上的物相,同时,定量测定的准确度也不高,一般在1%的数量级。XRD物相分析所需样品量大(0.1g),才能得到比较准确的结果,XRD残余应力检测哪里可以做,对非晶样品不能分析。



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怎么分析XRD图谱

1、XRD图中有很多信息,如组成(物相)和结构、粒度、应力、结晶度等,其分析方法各不相同。

2、比如,若是做物相分析,样品是已知物质的,广东XRD残余应力检测,你只要将XRD图谱与标准图进行比对就可以大致判断,一般设备中都会提供已知物数据库,供调用比对。

3、当然杂相分析就需要一定的经验了,不是一两句话就能说清楚的。

4、若是做的未知物(新物相),则必须做纯,再用相应软件如PowderX等来处理,也有一定的技巧。



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