XRD掠入射（GIXRD）检测机构 半导体研究所

半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

什么是标准半峰宽度，如何得到？

　　所谓的标准半峰宽应该是指仪器本身的宽化因子，和实验时使用的狭缝条件关系，想得到它并不难。

　　比如在相同的测量条件下，把 Si 标样放到仪器上测量 Si 的各个衍射峰的 Kα1 峰的半高宽，就是所谓的标准了。当你需要测量一系列非标样 Si 粉时，就把标样 Si 的 Kα1 峰的半宽作为标准半峰宽使用就可以了。

　　但，XRD掠入射（GIXRD）检测机构，有很多时候合适的标准物质很难得到，你就用另外的标准物质（出峰位置很相近的标准物质）代替，也完全没有问题。也可以根据 Si 标样在整个扫描范围内的衍射峰的 Kα1峰的半高宽作出仪器宽化因子-2θ关系曲线来得到任意进度的仪器宽化因子。因为谢乐方程的适用条件也就是几十到 200nm 之间，超出这个范围误差是很大的。只要你在进行相同的一系列计算时使用相同的一个参数就一般就可以满足研究工作的要求了。

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XRD主要测什么?

1、晶体结构分析;

2、物相定性分析;

3、物相定量分析;

4、晶粒大小分析;

5、结晶度分析;

6、宏观应力和微观应力分析;

7、择优取向分析

XRD图谱怎么分析?

1、在衍射仪获得的XRD图谱上，如果样品是较好的"晶态"物质，图谱的特征是有若千或许多个一般是彼此独立的很窄的“尖峰”。

2、如果这些“峰”明显地变宽，则可以判定样品中的晶体的颗粒尺寸将小于300nm，可以称之为"微晶"。

3、Scherer(118)揭示了衍射峰的增宽是对应晶面方向上的原子厚度(县数|不足以在偏离Bragg条件下相干减弱(destructivelyinterference)衍射峰。当衍射峰宽度增加到接近其高度时(或高度下降到接近其宽度时)，可认为样品是非晶。

4、同一物质的话，峰窄说明晶粒比较大，和结晶度无关。同一台仪器测试且测试条件相同的情况下，峰高的比较多才能说明结晶情况较好

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XRD物相分析

基本原理：每一种晶体物质和它的衍射花样都是一一对应的，不可能有两种晶体给出完全相同的衍射花样。随着XRD标准数据库的日益完善，XRD物相分析变得越来越简单，目前常见的操作方式是将样品的XRD谱图与标准谱图进行对比来确定样品的物相组成。XRD标准数据库包括JCPDS（即PDF卡片），ICSD，CCDC等，分析XRD谱图的软件包括Jade，Xpert Highscore等，这里推荐使用Jade。在Jade软件中，山东XRD掠入射（GIXRD）检测，专门有一个功能叫Identify。里面的Search/Match功能可以将样品的衍射图样与标准谱图进行对比，给出与所测样品相吻合的标准谱图信息。在Jade的Search/Match功能中会给出标准谱图的衍射条纹，物相名称，化学式，匹配程度（FOM），PDF卡片编号，点群，晶胞参数，ICSD编号等。其中，FOM为匹配率的倒数，XRD掠入射（GIXRD）检测服务，值越小，匹配越好。双击选中的标准物质卡片，会弹出来标准物质详细的references和衍射数据值，该数据可以导出使用。图中所示比较重要的数据包括晶面间距d， 晶面指数hkl以及标准谱图衍射峰位置和相对强度等。

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