甘肃XRD残余应力检测 半导体XRD测试机构

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2022-10-21 10:11:10
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

不同的靶材,因为其原子序数不同,外层的电子排布也不一样,所以产生的特征X射线波长不同。使用波长较长的靶材的XRD所得的衍射图峰位沿2θ轴有规律拉伸;使用短波长靶材的XRD谱沿2θ轴有规律地被压缩。但需要注意的是,不管使用何种靶材的X射线管,从所得到的衍射谱中获得样品面间距d值是一致的,与靶材无关。

  辐射波长对衍射峰强的关系是:衍射峰强主要取决于晶体结构,但是样品的质量吸收系数(MAC)与入射线的波长有关,因此同一样品用不同耙获得的图谱上的衍射峰强度会有稍微的差别。特别是混合物,各相之间的MAC都随所选波长而变化,波长选择不当很可能造成XRD定量结果不准确。





  辐射波长对衍射峰强的关系是:衍射峰强主要取决于晶体结构,但是样品的质量吸收系数(MAC)与入射线的波长有关,因此同一样品用不同耙获得的图谱上的衍射峰强度会有稍微的差别。特别是混合物,各相之间的MAC都随所选波长而变化,波长选择不当很可能造成XRD定量结果不准确。

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关于样品试片的厚度

  样品对X射线透明度的影响,XRD残余应力检测平台,跟样品表面对衍射仪轴的偏离所产生的影响类似,会引起衍射峰的位移和不对称的宽化,此误差使衍射峰位移向较低的角度,特别是对线吸收系数μ值小的样品,XRD残余应力检测哪里可以做,在低角度区域引起的位移Δ(2θ)会很显著。

  如果要求准确测量2θ或要求提高仪器分辨率能力,应该使用薄层粉末样品。通常仪器所附的制作样品的样品框的厚度(1.5~2 mm)对于所有样品的要求均已足够了。

制样技巧

  对于制样来说没有通用的一种方法,通常需依据实际情况有针对性地进行选择。然而无论用何种方法,都需要满足一个前提条件——在制成样品试片直至衍射实验结束的整个过程中,必须保证试片上样品的组成及其物理化学性质和原样品相同,必须确保样品的可靠性。



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粉末样品的制备

  虽然很多固体样品本身已处于微晶状态,但通常却是较粗糙的粉末颗粒或是较大的集结块,更多数的固体样品则是具有或大或小晶粒的结晶织构或者是可以辨认出外形的粗晶粒,因此实验时一般需要先加工成合用的细粉末。因为大多数固体颗粒是易碎的,所以常用的方法是研磨和过筛,只有当样品是十分细的粉末,手摸无颗粒感,才可以认为晶粒的大小已符合要求。持续的在研钵或在球磨中研磨至lt;360目的粉末,甘肃XRD残余应力检测,可以有效的得到足够细的颗粒。

  制备粉末需根据不同的具体情况采用不同的方法。对于一些软而不便研磨的物质(无机物或者有机物),可以用干冰或液态空气冷却至低温,使之变脆,然后进行研磨。若样品是一些具有不同硬度和晶癖的物质的混合物,研磨时较软或易于解理的部分容易被粉化而包裹较硬部分的颗粒,因此需要不断过筛,XRD残余应力检测服务,分出已粉化的部分,把全部粉末充分混合后再制作实验用的试样。样品中不同组分在各粒度级分中可能有不同的含量,因此对多相样品不能只筛取细的部分来制样(除非是进行分级研究)。




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