云南XRD小角度检测 半导体XRD薄膜测试

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2022-10-21 10:11:11
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XRD小角度检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,XRD小角度检测报告,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

XRD衍射仪简介


XRD衍射仪是一种用于化学工程、化学、中医学与中药学、生物学领域的分析仪器,于2018年3月1日启用。

  技术指标

  X射线发生器,功率3KW,i管电压60HV,电流80mA,垂直型测角仪,扫描范围:-6°~163°(2θ), -180°~180°(θ),扫描速度:0.1~50o/min(2θ),0.05~25°/min(θ)。配置微量样品池,3Q认证。

  主要功能

  晶型结构研究。




欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD小角度检测


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XRD因其的优点,广泛应用于医学、工业和研究领域中,云南XRD小角度检测,XRD也可用于小角度散射、微晶粒尺寸和X射线微观应力的测定,XRD小角度检测实验室,这使得XRD具有更广泛的应用。使用中定性分析需完善PDF卡片,衍射仪要求分辨率高;定量分析中要尽量减少择优取向,因此XRD的联用技术具有很大的开发潜力。如何将XRD与其它技术进行联用,更好的利用其衍射数据进行分析仍是一个热点问题。

2.为什么XRD测试要求薄膜(块体)样品尺寸要合适?

因为放置薄膜(块体)样品的样品台尺寸是固定的,用橡皮泥来固定样品,样品太大放不进去,XRD小角度检测哪家好,样品太小不好固定。

3.为什么XRD数据的峰强度较低,甚至没有明显的衍射峰?

样品的衍射峰强度跟样品本身的结晶度有关,其次跟样品量以及仪器的功率都有关系。如果样品量太少的话得到的峰强度就一定会很低,这时候可能增加量来排除是不是样品数量对测试数据产生影响。

4.XRD研究的是材料的体相还是表面相?

因为XRD采用单色X射线为衍射源,一般情况下可以穿透样品从而验证其内部结构与特征,因此XRD研究的是材料的体相结构信息。





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薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度


谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算

D:晶粒尺寸(不叫离子尺寸的)

k:0.89

λ:XRD测试的x射线的波长,一般分kα1和kα2,具体用那种需要问测试老师。

FWHM:半高宽

θ:衍射角

具体方法:选定强的衍射峰,测量其衍射角和半高宽(可用jade读取),然后带入公式计算即可。






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