山西XRD薄膜检测 XRD薄膜检测 半导体研究所

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EDS及XRD的性能区别

1、EDS是针对一些元素的含量进行测试，XRD是测试晶体结构的。

2、EDS (Energy Dispersive Spectrometer）能谱分析，能谱仪是与扫描电子显微镜或透射电镜相连的设备。在微米或纳米尺度上对扫描电镜或透射电镜内通过电子碰撞所产生的X射线的能量进行测量来确定物质化学成分。分析范围：4-100号元素定性定量分析。

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具有主要已知取向的晶体可以用固定的排列方式进行布置，山西XRD薄膜检测，但偏离它的范围一般是在几度，有时偏差会达到十几度。在特殊情况下（立方晶体），它也适用于任意取向。

常规晶格的方向是和转台的旋转轴保持一致，获得晶体表面参考的一种可能性是将其地放置在调整好旋转轴的测量台上，并将测量装置安装在测量台下面。

如果要研究大晶体，或者要根据测量结果进行调整，XRD薄膜检测多少钱，就把晶体放置在转台上。

上表面的角度关系可以通过附加的光学工具获取。方位角基准也可以通过光学或机械工具来实现。

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薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度

谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算

D：晶粒尺寸（不叫离子尺寸的）

k：0.89

λ：XRD测试的x射线的波长，一般分kα1和kα2，具体用那种需要问测试老师。

FWHM:半高宽

θ：衍射角

具体方法：选定强的衍射峰，测量其衍射角和半高宽（可用jade读取），然后带入公式计算即可。

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