半导体薄膜测试机构 四川XRD晶粒尺寸检测

半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

为什么晶粒尺寸的变化会引起 X 射线衍射的峰线宽化？

　　理想的晶体是在三维空间中无i限的周期性延伸的，四川XRD晶粒尺寸检测，所以，如果不考虑仪器宽化的因素，那么理想晶体的衍射峰应该是一条线，但是实际晶体都是有尺寸的，即，周期性不是无i限的，这就造成了由于结晶粒度引起的宽化，如果结晶粒度无i限小下去，衍射峰就会宽化直至消失变成大鼓包了，也就是非晶了。

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什么是标准半峰宽度，如何得到？

　　所谓的标准半峰宽应该是指仪器本身的宽化因子，和实验时使用的狭缝条件关系，XRD晶粒尺寸检测实验室，想得到它并不难。

　　比如在相同的测量条件下，把 Si 标样放到仪器上测量 Si 的各个衍射峰的 Kα1 峰的半高宽，就是所谓的标准了。当你需要测量一系列非标样 Si 粉时，就把标样 Si 的 Kα1 峰的半宽作为标准半峰宽使用就可以了。

　　但，有很多时候合适的标准物质很难得到，你就用另外的标准物质（出峰位置很相近的标准物质）代替，也完全没有问题。也可以根据 Si 标样在整个扫描范围内的衍射峰的 Kα1峰的半高宽作出仪器宽化因子-2θ关系曲线来得到任意进度的仪器宽化因子。因为谢乐方程的适用条件也就是几十到 200nm 之间，超出这个范围误差是很大的。只要你在进行相同的一系列计算时使用相同的一个参数就一般就可以满足研究工作的要求了。

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（2）获得了一批Co合金试样的XRD衍射数据，试样中Co含量超过95%。试样的谱线均在纯钴谱线左侧，低角度谱线偏离0.2度左右，高角度谱线偏离0.3-0.4度左右。请问它们是第二相固溶引起的吗？它们与固溶程度有什么定性和定量的关系？

　　根据布拉格公式，峰位置向左偏移，相当于d值变大了，反映其晶胞参数变大了，XRD晶粒尺寸检测哪家好，说明在Co的晶格中渗入了其他的原子。另外，没有出现新的衍射峰，说明是铝的无序固溶体，保持着纯铝的晶体结构。

　　（3）已知X射线衍射数据，如何计算晶粒尺寸晶格常数和畸变？

　　根据衍射峰的峰形数据可以计算晶粒尺寸晶格常数和畸变。在衍射峰的宽化仅由于晶粒的细小产生的情况下，根据衍射峰的宽化量应用Scherrer公式便可以估算晶粒在该衍射方向上的厚度。

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