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- 2022-11-06 10:07:03
XRD倒易空间(RSM)检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
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1923年,康普顿报道了当X射线用几乎与样品表面平行的小角度入射到理想光滑平整的样品表面上时,能够出现镜面反射的特征。入射X射线在样品表面发生全反射的前提是入射角小于或等于临界角αi(入射角)≤αc(αc临界角)。当发生全反射时,由于X射线被全反射,因此探测到的信息几乎全部是样品表面薄层的信息。在对衬底上的薄膜进行分析时,全反射法可以避免来自衬底的干扰信息。
掠入射X射线衍射(GIXRD)是一种让X射线略过样品表面的技术,这种技术能够更真实地表征出薄膜(特别是共辄聚合物薄膜)的微结构。测试光是平行光,相对于常规的衍射光来说能量较小,因此掠入射测试XRD的谱图峰强相对较弱。但是平行光可以更好的关注薄膜表面的信息,也不容易测到基底,XRD倒易空间(RSM)检测分析,因此掠入射XRD专门用于测试薄膜样品。薄膜尺寸没有特别要求,但是需要测试面平整光洁,不要有遮挡物,这样测试结果才真实可信。
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合金相变 包括脱溶、有序无序转变、母相新相的晶体学关系,等等。
结构分析 对新发现的合金相进行测定,确阵类型、点阵参数、对称性、原子位置等晶体学数据。
液态金属和非晶态金属 研究非晶态金属和液态金属结构,如测定近程序参量、配位数等。
特殊状态下的分析 在高温、低温和瞬时的动态分析。
此外,小角度散射用于研究电子浓度不均匀区的形状和大小,X射线形貌术用于研究近完整晶体中的缺陷如位错线等,也得到了重视。
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