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- 2022-11-08 10:18:11
XRD小角度检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,XRD小角度检测分析,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
Omega扫描方法的原理如图1所示。在测量过程中,晶体以恒定速度围绕转盘中心的旋转轴,即系统的参考轴旋转,X射线管和带有面罩的数据探测器处于固定位置不动。
X射线光束倾斜着照射至样品,经过晶体晶格反射后探测器进行数据采集,在垂直于旋转轴(ω圆)的平面内测量反射的角位置。
选择相应的主光束入射角,并且检测器前面的面罩进行筛选定位,XRD小角度检测多少钱,从而获得在足够数量的晶格平面上的反射,进而可以评估晶格所有数据。整过过程必须至少测量两个晶格平面上的反射。
对于对称轴接近旋转轴的晶体取向,记录对称等值反射的响应数(图2),整个测量仅需几秒钟。
利用反射的角度位置,计算晶体的取向,例如,通过与晶体坐标系有关的极坐标来表示。此外,omega圆上任何晶格方向投影的方位角都可以通过测量得到。
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在金属中的主要应用有以下方面:
物相分析 是X射线衍射在金属中用得多的方面,又分为定性分析和定量分析。定性分析是把对待测材料测得的点阵平面间距及衍射强度与标准物相的衍射数据进行比较,以确定材料中存在的物相;定量分析则根据衍射花样的强度,上海XRD小角度检测,确定待测材料中各相的比例含量。
取向分析 包括测定单晶取向和多晶的结构(如择优取向)。测定硅钢片的取向就是一例。另外,为研究金属的范性形变过程,如孪生、滑移、滑移面的转动等,也与取向的测定有关。
晶粒(嵌镶块)大小和微观应力的测定 由衍射花样的形状和强度可计算晶粒和微应力的大小。在形变和热处理过程中这两者有明显变化,它直接影响材料的性能。
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薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度
谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算
D:晶粒尺寸(不叫离子尺寸的)
k:0.89
λ:XRD测试的x射线的波长,一般分kα1和kα2,具体用那种需要问测试老师。
FWHM:半高宽
θ:衍射角
具体方法:选定强的衍射峰,测量其衍射角和半高宽(可用jade读取),然后带入公式计算即可。
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