北京XRD掠入射(GIXRD)检测 半导体XRD检测机构

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2022-11-08 10:18:11
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XRD掠入射(GIXRD)检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

在近几年中,随着小角X射线衍射理论的发展以及大功率辐射源的产品化,XRD掠入射(GIXRD)检测多少钱,使得小角X射线衍射技术在对薄膜及界面的特性研究有了很大的提高。小角X射线衍射技术以其制样方便,对测试的样品无损伤,测试的表面结构信息精度较高,测得的数据可靠,对样品没有限制等优点正在获得越来越多材料研究人员的注意。但是,小角X射线技术由于需要很的角度控制技术,仪器设备的价格很高,目前普及率相对不高。

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小角衍射的特点:

(1)小角X射线衍射具有和常规XRD的功能,XRD掠入射(GIXRD)检测哪里可以做,可以确定物质的晶相,结晶度,晶畴尺寸,取向度等

(2)通过对入射X射线的角度的控制来减少照射到衬底中的X射线,从而用来消除或减少衬底的影响

(3)可以探测多层膜的层数、厚度和表面粗糙度等

(4)小角X射线衍射对几何光路的要求比常规X射线衍射仪的几何光路要求要严得多。

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X射线衍射原理及应用介绍:

特征X射线及其衍射 X射线是一种波长很短(约为20~0.06 nm)的电磁波,能穿透一定厚度的物质,XRD掠入射(GIXRD)检测分析,并能使荧光物质发光、照相乳胶感光、i气体电离。在用电子束轰击金属“靶”产生的X射线中,包含与靶中各种元素对应的具有特定波长的X射线,称为特征(或标识)X射线。考虑到X射线的波长和晶体内部原子间的距离(10^(-8)cm)相近,1912年德国物理学家劳厄(M.von Laue)提出一个重要的科学预见:晶体可以作为X射线的空间衍射光栅,即当一束X射线通过晶体时将会发生衍射;衍射波叠加的结果使射线的强度在某些方向上增强、而在其它方向上减弱;分析在照相底片上获得的衍射花样,便可确定晶体结构。这一预见随后为实验所验证。




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