XRD晶粒尺寸检测 半导体单晶XRD靠谱

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XRD用于定量分析是因为物相衍射线的强度或相对强度与物相在样品中的含量有关。随着测试理论及测试技术的不断完善和发展，利用衍射花样中的强度来分析物相在试样中的含量，也得到了不断地完善和发展。目前在实验室中较为常用的X射线定量相分析方法有外标法、内标法和基体冲洗法即K值法。值得注意的是:X射线物相定量分析公式中，其理论基础中假设了被测物相中的晶粒尺寸非常小，各相混合均匀，晶粒无择优取向，香港特别行政XRD晶粒尺寸检测，因此在实际应用中，应该在试样制备及标样选择过程中充分考虑上述假设， 特别是制样时应避免重压，减少择优取向。

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一X衍射基本原理 当一束单色X射线入射到晶体时，由于晶体是由原子规则排列成的晶胞组成，这些规则排列的原子间距离与入射X射线波长有X射线衍射分析相同数量级，故由不同原子散射的X射线相互干涉。

在某些特殊方向上产生强X射线衍射，衍射线在空间分布的方位和强度，与晶体结构密切相关，每种晶体所产生的衍射花样都反映出该晶体内部的原子分配规律。这就是X射线衍射的基本原理。

二晶体的基本概念晶体：物质内部质点(原子、分子、离子)呈规律排列的固体，为“空间格子”状。

晶胞：晶体的重复单位。可以用3个晶轴的长度a、b、c及其夹角α、β、γ6个晶胞参数来描述。

晶面：结晶格子内所有的格子点全部集中在相互平行的等间距的平面群上，这些平面叫做晶面，晶面的间距为d。用晶面指数（Miller指数）来标记。（通过晶体中原子中心的平面叫作晶面）。

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物相定性分析中追求数据吻合程度时，

（1）d值比I/I1值更重要，更优先。因为d测试精度高，重现性好；而强度受纯度（影响分辨率）、结晶度（影响峰形）样品细微度（同Q值时吸收不同），辐射源波长（同d值，XRD晶粒尺寸检测报告，角因子不同）、样品制备方法（有无择优取向等）、测试方法（照相法或衍射仪法）等因素影响，不易固定。

（2）低角度衍射线比高角度线重要。对不同晶体而言低角度线不易重迭，而高角度线易重迭或被干扰。

（3）强线比弱线重要。尤其要重视强度较大的大d值线。

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