XRD残余应力检测 半导体薄膜测试机构

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XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


X射线衍射仪是对物质和材料的组成和原子级结构进行研究和鉴定的基本手段。X射线衍射仪对单晶、多晶和非晶样品进行结构参数分析,如物相鉴定和定量分析、室温至高温段的物相分析、晶胞参数测定(晶体结构分析)、多晶X-射线衍射的指标化以及晶粒尺寸和结晶度的测定等。可地测定物质的晶体结构,如:物相定性与定量分析,XRD残余应力检测费用多少,衍射谱的指标化及点阵参数。

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小角衍射的特点:

(1)小角X射线衍射具有和常规XRD的功能,可以确定物质的晶相,结晶度,晶畴尺寸,甘肃XRD残余应力检测,取向度等

(2)通过对入射X射线的角度的控制来减少照射到衬底中的X射线,从而用来消除或减少衬底的影响

(3)可以探测多层膜的层数、厚度和表面粗糙度等

(4)小角X射线衍射对几何光路的要求比常规X射线衍射仪的几何光路要求要严得多。

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含2716个相的常用相程序;

含3549个相的矿物程序;

含6000个相的金属和合金程序;

含31799个相的无机相程序

含11378个相的有机相程序.每张片尾记录一个物相。

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