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- 2022-11-13 01:46:43
大功率XRD检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
为了能够测量不同的材料和取向,X射线管和检测器可以使用相应的圆圈来移动,这也允许常规衍射测量。
因此,Omega扫描测量可以与摇摆曲线扫描相结合,用于评估晶体质量。而且初级光束准直器配备有Ge切割晶体准直器,这两种模式都可以快速便捷地交换使用。
这种类型的衍射仪还可以配备一个X-Y平台,用于在转台上进行3Dmapping绘图。它可以应用于整体晶体取向确定以及摇摆曲线mapping测量。
另外,针对碳化硅SiC、镓GaAs等晶圆生产线,可搭配堆叠装置,一次性同时定位12块铸锭,大幅度提高晶圆生产效率和减小晶圆生产批次误差。
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XRD同一种杂质在不同试样检测中峰位置不一样
杂质在不同试样出峰不一定一样,杂质有自己的特征峰,特征峰里有强峰也有弱峰,XRD测试图谱中,杂质在试样里不一定会出强特征峰,但是一般会出一些特征峰,对比杂质的特征峰可以判断杂质存在与试样中。通过特征峰只能证明杂质的存在,不能看出含量多少,要测含量多少还得做进一步测试,大功率XRD检测价格,比如XRF或元素分析。
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3、游离二氧化硅的测定方法
目前中国和世界上多数国家都是以焦磷酸重量法作为分析粉尘中游离SiO2的基础方法,广西壮族自治大功率XRD检测,不过如果粉尘中含有无定型的二氧化硅,则无法使用焦磷酸检测粉尘中的游离二氧化硅(结晶二氧化硅)含量,而只能通过红外分光光度法和X射线衍射法来确定其中的游离二氧化硅的含量。红外分光光度法和X射线衍射法普遍适用于各种粉尘中游离二氧化硅(结晶二氧化硅)含量检测。这也是化组织(ISO)和美国国家职业安全卫生研究所(NIOSH)采用红外分光光度法、X射线衍射法测定分成中游离二氧化硅的原因。
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