半导体研究所 山西XRD掠入射（GIXRD）检测

XRD掠入射（GIXRD）检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

一X衍射基本原理 当一束单色X射线入射到晶体时，由于晶体是由原子规则排列成的晶胞组成，这些规则排列的原子间距离与入射X射线波长有X射线衍射分析相同数量级，故由不同原子散射的X射线相互干涉。

在某些特殊方向上产生强X射线衍射，衍射线在空间分布的方位和强度，与晶体结构密切相关，每种晶体所产生的衍射花样都反映出该晶体内部的原子分配规律。这就是X射线衍射的基本原理。

二晶体的基本概念晶体：物质内部质点(原子、分子、离子)呈规律排列的固体，XRD掠入射（GIXRD）检测报告，为“空间格子”状。

晶胞：晶体的重复单位。可以用3个晶轴的长度a、b、c及其夹角α、β、γ6个晶胞参数来描述。

晶面：结晶格子内所有的格子点全部集中在相互平行的等间距的平面群上，这些平面叫做晶面，晶面的间距为d。用晶面指数（Miller指数）来标记。（通过晶体中原子中心的平面叫作晶面）。

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四常见问题解答

1 单晶XRD能得到什么？

挑选晶体的建议：

1) 提前准备好您的样品和所需工具等。

2) 使用洁净的上样工具，避免污染。

3) 尽可能将样品分为多份，以方便多次尝试。

4) 选择好适用的油—快速均匀地与晶体混合(低温实验)。

5) 尽量使用冷光源照明，以延长晶体挑选时间。

6) 请先了解您所用的显微镜的放大倍率和衍射仪的光斑大小，并照此挑选晶体样品。 ——请记住，XRD掠入射（GIXRD）检测机构，常常小晶体的质量会更好。

7) 挑选面/角清晰的晶体；避免挑选有裂缝和表面有缺陷的晶体；从簇状或薄片状晶体中分离出单颗晶体(小心处理以免损坏晶体)。

8) 将挑选好的晶体转移到合适的上样工具上—尽量少裹油、尽量减少样品转移到衍射仪上的时间、尽量减少在转移过程中对晶体的损坏。

9) 确认晶体处于低温气流中，并通过一幅衍射照片来快速评估晶体质量。

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X射线衍射仪是对物质和材料的组成和原子级结构进行研究和鉴定的基本手段。X射线衍射仪对单晶、多晶和非晶样品进行结构参数分析，如物相鉴定和定量分析、室温至高温段的物相分析、晶胞参数测定（晶体结构分析）、多晶X-射线衍射的指标化以及晶粒尺寸和结晶度的测定等。可地测定物质的晶体结构，如：物相定性与定量分析，衍射谱的指标化及点阵参数。

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