半导体XRD测试机构 北京AlGaN材料XRD检测

AlGaN材料XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，AlGaN材料XRD检测报告，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

薄膜的XRD测试

有部分同学的研究可能会涉及到涂层薄膜的研究，比如在玻璃基底上生长电池材料薄膜，北京AlGaN材料XRD检测，这种样品由于绝大多数都是多晶状态，AlGaN材料XRD检测服务，而且厚度有限（通常从几十纳米到微米），如果用常规XRD方法测试，由于在衍射方向薄膜样品厚度非常小，导致参与衍射的晶面非常少，造成样品信号很难测出。

这时我们就需要采用掠入射X射线衍射(GIXRD)的办法对样品进行测试，掠入射XRD实质是通过X射线小角度照射样品，使更多的晶粒参与衍射，以弥补常规衍射方向厚度的不足，它使x射线束的穿透力被极大的限制，大大提高了分析样品的表面分析灵敏度，且能分析体积相对较大的样品。

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制作试片的技巧

压片法：粉末均匀撒入样品池——用小刀剁实压紧——刮去多余凸出的粉末

涂片法：粉末撒在25mm*35mm*1mm的载玻片上——滴上足量的或酒精（假如试样在其中不溶解）——待/酒精挥发

两种制备几乎无择优取向试片的方法：（塑合法）（喷雾法）

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单晶X射线衍射是利用单晶体对 X射线的衍射效应来测定晶体结构的实验方法。依照强度记录方式的不同，可分为照相法和衍射仪法两类。

照相法使射线作用在胶片上，然后测量底片上衍射点的黑度来获得衍射线的强度数据，根据实验装置和条件的差别，又分为多种方法。

劳厄照相法用连续波长的 X射线照射到静止不动的单晶体上，通常采用平板底片，所摄得的衍射图称为劳厄图。劳厄图常用来测定晶体的对称性和用于晶体的定向等。

优点

形貌观察与结构分析结合

使晶体结构的研究直观，比X射线衍射的简单。

散射能力强，曝光时间短

缺点

只能用来分析方向问题，不能用来测量衍射强度

要求试样薄，试样制备工作复杂

在精度方面也远比X射线低

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