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- 2022-11-25 10:27:19
XRD倒易空间（RSM）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
①从衬底与表面膜衍射峰的角分离度求得点阵失配和膜的成分；
②当样品绕衬底的衍射矢量转动时，从峰的分离角度的变化，可获得外延膜与衬底的取向差；
③从积分强度比和干涉条纹的振荡周期可以获得膜的厚度；
④从一系列不对称反射，研究有效失配，获得点阵的相干性；
⑤从摇摆曲线的宽化和样品在扫描过程中峰位置的位移求得样品晶片的弯曲度；
⑥从摇摆曲线的半高宽可获得衬底和膜的结晶完整性；
⑦从摇摆曲线的计算机拟合可得到膜厚和膜的成分随深度的变化，等等。
此外，利用双晶衍射仪还可以做倒空间测绘或衍射空间测绘，并由测绘图形来分析样品晶体的完整性。
除此之外，还有掠入射散射和衍射及全反射技术和三轴晶衍射仪法，此处不作详细介绍。
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在做单晶X射线衍射（单晶XRD）测试时，此法用射线计数仪直接记录射线的强度。单晶衍射仪有线性衍射仪、四圆衍射仪和韦森堡衍射仪等，其中以四圆衍射仪，为通用。所谓四圆是指晶体和计数器藉以调节方位的四个圆，分别称为φ圆、圆、w圆和2θ圆。φ圆是安装晶体的测角头转动的圆；圆是支撑测角头的垂直圆，测角头可在此圆上运动；w圆是使圆绕垂直轴转动的圆，2θ圆与w圆共轴，计数器绕着这个轴转动。这四个圆中，w圆、φ圆和圆用于调节晶体的取向，使某一的晶面满足衍射条件，同时调节2θ圆，使衍射线进入计数器中。通常，四圆衍射仪配用电子计算机自动控制和记录，XRD倒易空间（RSM）检测测试，可以测定晶格参数，台湾XRD倒易空间（RSM）检测，并将衍射点的强度数据依次自动收集，简化了实验过程，而且大大提高了数据的度。因此，它已成为当前晶体结构分析中强有力的工具。
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另外，也可以利用谢乐公式计算：
谢乐公式的应用方法Dc = 0.89λ /（B cos θ）（λ为X 射线波长，XRD倒易空间（RSM）检测服务， B为衍射峰 半高宽， θ 为衍射角）双线法（Williams-Hall）测定金属晶体中的微观应力。晶块尺寸小于0.1μm，且有不均匀应变时衍射线宽化。可用谢乐方程或Hall法作定量计算。谢乐方程的假设是试样中没有晶体结构的不完整引起的宽化，则衍射线的宽化只是由晶块尺寸造成的，而且晶块尺寸是均匀的。需注意，晶粒大于100纳米以上，用谢乐公式不太准确，因为其半高宽的原因。准确的是在40nm左右，但是，低于100n都可以谢乐公式来算。另外，谢乐公式只适合球形粒子。
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