XRD物相分析检测实验室 半导体XRD测试机构

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计数管法

用X射线测定应力，其精度受到许多因素的影响，如被测试件材料的结构、晶粒的粗细程度、衍射面的选择、X射线的波长、采用的测量方法、被测试件表面的平滑度和处理情况等。

70年始使用的多缝平行光阑的平行光束X射线应力测定仪，具有限制X射线入射和衍射光束的水平发散度的效能，提高了测量的精度。X射线测定应力的精度，已能达到±（1～2）千克力/毫米2。

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运动学衍射理论

Darwin的理论称为X射线衍射运动学理论。该理论把衍射现象作为三维Frannhofer衍射问题来处理，认为晶体的每个体积元的散射与其它体积元的散射无关，而且散射线通过晶体时不会再被散射。虽然这样处理可以得出足够的衍射方向，XRD物相分析检测测试，也能得出衍射强度，但运动学理论的根本性假设并不完全合理。因为散射线在晶体内一定会被再次散射，除了与原射线相结合外，散射线之间也能相互结合。Darwin不久以后就认识到这点，并在他的理论中作出了多重散射修正。

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双晶衍射仪法

双晶衍射仪的原理大致为，一束特征X射线经准直后入射到高度完整的参考晶体a上，a可以去对称或不对称Bragg几何把X射线作选择反射。由于a的高度完整，使自a反射的X射线的单色性和发散度都得到明显改善。改善的X射线入射到样品上，样品的衍射记录在探测器上。

为了提高入射线的平行度和色性，可用多块晶体代替参考晶体a，如果把样品在其选定衍射的Brag角附近绕垂直于微入射面的轴转动，就可获得样品的反射强度随角度变化的曲线，即所谓摇摆曲线。从摇摆曲线可提取的信息有：

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