半导体研究所 湖南AlGaN材料XRD检测

AlGaN材料XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

XRD定性分析

实际上，XRD作为定性分析手段并不是盲目的，不是所有情况都需要通过Jade对样品进行Search amp; Match， 而实际上Jade由于标准卡片的数目限制也无法涵盖所有物质的标准谱图。因此，借助分析软件只是为了便利，AlGaN材料XRD检测机构，从根本上来说，AlGaN材料XRD检测哪里可以做，重要的是XRD谱图本身。这一点和物理吸脱附实验一样，关键的是吸附等温线，而比表面积，孔容孔径只是采用理论模型针对吸附等温线进行处理而已。这个本末关系大家一定要搞清楚。

为了强调XRD谱图本身的重要性，湖南AlGaN材料XRD检测，采用合金的形成与否作为例子进行简单地介绍。对于双金属(多金属)纳米颗粒而言，XRD是一种常见的判断其是否形成合金的手段。判断的依据不是基于JCPDS标准图谱，而仅仅基于XRD衍射图样。

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①从衬底与表面膜衍射峰的角分离度求得点阵失配和膜的成分；

②当样品绕衬底的衍射矢量转动时，从峰的分离角度的变化，可获得外延膜与衬底的取向差；

③从积分强度比和干涉条纹的振荡周期可以获得膜的厚度；

④从一系列不对称反射，研究有效失配，获得点阵的相干性；

⑤从摇摆曲线的宽化和样品在扫描过程中峰位置的位移求得样品晶片的弯曲度；

⑥从摇摆曲线的半高宽可获得衬底和膜的结晶完整性；

⑦从摇摆曲线的计算机拟合可得到膜厚和膜的成分随深度的变化，等等。

此外，利用双晶衍射仪还可以做倒空间测绘或衍射空间测绘，并由测绘图形来分析样品晶体的完整性。

除此之外，还有掠入射散射和衍射及全反射技术和三轴晶衍射仪法，此处不作详细介绍。

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单晶X射线衍射是利用单晶体对 X射线的衍射效应来测定晶体结构的实验方法。依照强度记录方式的不同，可分为照相法和衍射仪法两类。

照相法使射线作用在胶片上，然后测量底片上衍射点的黑度来获得衍射线的强度数据，根据实验装置和条件的差别，又分为多种方法。

劳厄照相法用连续波长的 X射线照射到静止不动的单晶体上，AlGaN材料XRD检测实验室，通常采用平板底片，所摄得的衍射图称为劳厄图。劳厄图常用来测定晶体的对称性和用于晶体的定向等。

优点

形貌观察与结构分析结合

使晶体结构的研究直观，比X射线衍射的简单。

散射能力强，曝光时间短

缺点

只能用来分析方向问题，不能用来测量衍射强度

要求试样薄，试样制备工作复杂

在精度方面也远比X射线低

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