XRD掠入射（GIXRD）检测实验室 半导体XRD物相分析

XRD掠入射（GIXRD）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

多尝试、详细记录单晶生长有很大偶然性。可采取少量样品多溶剂体系的办法反复尝试，提高成功的概率。例如，XRD掠入射（GIXRD）检测哪家好，有 50 mg 样品，可以同时实验 5 种溶剂体系，每种溶剂体系尝试两次，每次 5 mg 。注意做好记录，以免重复采用已经失败的溶剂体系，而且单晶解析时往往需要知道所用的溶剂。

实验记录要详细。有时候测出晶体结构之后，还要收集更多晶体，以研究相关性能。如果实验记录不够详细，很可能造成晶体生长无法重复的后果。

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关于试片平面的准备

一般讲，XRD掠入射（GIXRD）检测机构，尺寸细且均匀，颗粒成球状，性质比较稳定的粉末样品是比较理想的。

关于压制样品：一般的粉末样品好能够盖满整个样品槽，XRD掠入射（GIXRD）检测实验室，较少的时候沿着与光源垂直的方向成一个线状分布也可以，压的时候不要用太大力气，对于一些粘性比较大的样品可以先蒙上一张称量纸，上面用玻璃片轻轻压平，然后将称量纸轻轻取下来即可。

需要注意的问题：对于同一系列的样品，甘肃XRD掠入射（GIXRD）检测，如果力道差别很大，就会引起样品密度的变化，从而会使衍射的强度受到影响。

关于试片的厚度

X射线的穿透能力很强，一般在10μm~20μm的数量级。所以必须考虑试样的厚度

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7.如果将晶体块体研磨成粉后会不会就变成多晶了呀？

样品的形态和晶体结构的类型或者种类没有直接关系，块体研磨成粉末也是一样的结构，对晶体结构不会造成本质的变化。

8.请问老师样品压的时候就很容易粘在玻片上，表面很难控制平整光滑，这种情况应该怎么办？

可以多准备样品，用玻璃片压实之后，顺时针不断打圈，这样可以消除样品表面的褶子或者不平整的地方。

9.晶胞指数只有hkl吗？

晶胞指数或者密勒指数，就是hkl，这是他的定义。

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