天津大功率XRD检测 半导体XRD研究所

大功率XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

①从衬底与表面膜衍射峰的角分离度求得点阵失配和膜的成分；

②当样品绕衬底的衍射矢量转动时，从峰的分离角度的变化，可获得外延膜与衬底的取向差；

③从积分强度比和干涉条纹的振荡周期可以获得膜的厚度；

④从一系列不对称反射，研究有效失配，获得点阵的相干性；

⑤从摇摆曲线的宽化和样品在扫描过程中峰位置的位移求得样品晶片的弯曲度；

⑥从摇摆曲线的半高宽可获得衬底和膜的结晶完整性；

⑦从摇摆曲线的计算机拟合可得到膜厚和膜的成分随深度的变化，等等。

此外，利用双晶衍射仪还可以做倒空间测绘或衍射空间测绘，并由测绘图形来分析样品晶体的完整性。

除此之外，还有掠入射散射和衍射及全反射技术和三轴晶衍射仪法，此处不作详细介绍。

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在做单晶X射线衍射（单晶XRD）测试时，广东省科学院半导体研究院在与很多同学沟通中了解到，好多同学对单晶XRD测试不太了解，大功率XRD检测价格，针对此，广东省科学院半导体研究院团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

大小

受吸收和光斑大小的限制，不一定是越大越好；

晶体不大于准直器直径，一般0.2-0.5 mm，取决于晶体的组分和光源强度；

含有金属的化合物或使用铜光源时，晶体可以小些；有机化合物晶体或使用钼光源时，可以大些。

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另外，也可以利用谢乐公式计算：

谢乐公式的应用方法Dc = 0.89λ /（B cos θ）（λ为X 射线波长， B为衍射峰 半高宽， θ 为衍射角）双线法（Williams-Hall）测定金属晶体中的微观应力。晶块尺寸小于0.1μm，且有不均匀应变时衍射线宽化。可用谢乐方程或Hall法作定量计算。谢乐方程的假设是试样中没有晶体结构的不完整引起的宽化，则衍射线的宽化只是由晶块尺寸造成的，而且晶块尺寸是均匀的。需注意，晶粒大于100纳米以上，用谢乐公式不太准确，因为其半高宽的原因。准确的是在40nm左右，但是，低于100n都可以谢乐公式来算。另外，谢乐公式只适合球形粒子。

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