内蒙古自治单晶XRD检测 单晶XRD检测平台 半导体研究所

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2022-12-10 13:24:02
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单晶XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

薄膜分析中常用的X射线方法有:

粉末衍射仪和薄膜衍射仪

现在,分辨率较高的粉末衍射仪已经可以应用于薄膜的分析在多晶粉末衍射仪上添加薄膜附件用于做薄膜的测试即可。例如,日本理学公司用弯曲多层膜全反射和多重晶单色器组合开发出了薄膜衍射仪。从这类衍射仪得到的数据可以提取薄膜的相结构、晶格大小、晶粒尺寸、择优去向等信息。



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在做单晶X射线衍射(单晶XRD)测试时,广东省科学院半导体研究院在与很多同学沟通中了解到,单晶XRD检测哪家好,好多同学对单晶XRD测试不太了解,针对此,广东省科学院半导体研究院团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

大小

受吸收和光斑大小的限制,不一定是越大越好;

晶体不大于准直器直径,一般0.2-0.5 mm,取决于晶体的组分和光源强度;

含有金属的化合物或使用铜光源时,晶体可以小些;有机化合物晶体或使用钼光源时,可以大些。




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变温测定结构相变

还有些样品在某温度存在结构相变,通常这种结构相变会伴随物理性质的变化,为了证实材料是否具有结构相变,内蒙古自治单晶XRD检测,以及分析相变前后结构的变化,我们就需要选择变温XRD测试,它是研究原位结构相变的得力工具。

研究单晶薄膜

另外一些做单晶薄膜(也叫外延薄膜)相关研究的同学,在测试样品的时候就需要使用高分辨XRD,高分辨XRD通常配有平行光、单色器、欧拉环等附件,可以用来分析薄膜的物相、外延关系(通过Phi扫描)、结晶质量(摇摆曲线)、薄膜面内晶格和应变情况(需要使用倒易空间图reciprocal space mapping)等。



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