云南单晶XRD检测 半导体XRD薄膜测试

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多晶X射线衍射仪的基本构造

多晶X射线衍射仪，也称粉末衍射仪，通常用于测量粉末、多晶体金属或者高聚物块体材料等。主要由四个部分构成：

1.X 射线发生器(产生X射线的装置)

2.测角仪(测量角度2θ的装置)

3.X射线探测器(测量X射线强度的计数装置)

4.X射线系统控制装置(数据采集系统和各种电气系统、保护系统等)

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大小

受吸收和光斑大小的限制，不一定是越大越好；

晶体不大于准直器直径，一般0.2-0.5 mm，取决于晶体的组分和光源强度；

含有金属的化合物或使用铜光源时，单晶XRD检测价格，晶体可以小些；有机化合物晶体或使用钼光源时，可以大些。

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XRD测试平台是用于检测物相，测定材料的晶体组成，定性，定量分析。它是利用晶体形成的X射线衍射，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析平台。

常规扫描可以知道晶体的物相，用高温附件可知道在温度变化情况下的物相变化。小角衍射可知道黏土等层状材料的层间距，掠入射模式可测得纳米薄膜材料厚度，还有些特殊工具可测晶体的残余应力、织构信息等。通过对XRD结果分析，还可以测得晶体掺杂情况、物相占比情况等等。

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