XRD残余应力检测服务 半导体研究所 天津XRD残余应力检测

发布
广东省科学院半导体研究所
电话
020-61086420
手机
13560436009
发布时间
2023-03-31 14:06:25
产品详情





XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

硅晶圆在不同退火制程下所产生的边缘缺陷差异[1]。

200mm硅晶圆在1270K的温度下快速退火的高分辨率X射线衍射成像的结果表明,XRD残余应力检测服务,晶体内部的热滑移源多与晶圆的边缘位置有关。位错源主要位于晶圆的边缘,由晶圆表面的斜边边缘(Bevel Edge)的损坏产生。少数的位错源与其他局部损坏的区域相关,与制程设备反应室的晶圆支架的突起有关。后者的几何类似于晶圆表面压痕产生的位错源几何。




欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD残余应力检测


XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,XRD残余应力检测平台,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。




做钴酸锂 XRD 衍射实验时,在 X 衍射仪上做出的衍射图片,个衍射峰特别高,其他的衍 射峰特别低,不成比例,是仪器本身的原因,还是发生了择优取向,请各位高手指点。

不知你是用钴酸锂粉末做的实验,还是多晶膜等?如果是粉末,那可能就是择优取向了。

化学沉淀法从氨氮废水中结晶出磷酸铵镁,XRD 与标准 JCPDS 相比衍射峰有规律向左偏移,这表达什么晶体结构的信息啊?

如果各峰的偏移基本上是一个固定值,原因是 2θ零位不正确;样品平面后仰;组成偏离化学式,未知的偏离导致晶格变大了一些。

用 Jade5 软件可以进行 XRD 定量分析吗?

XRD定量分析的基础数据是样品中各组成物相的强度数据(原理上应该用峰的面积数据), 余下的工作便是些乘除比例的运算了,天津XRD残余应力检测,使用表格软件(如 WPS Ofice 的"WPS 表格"、微软的Excel)完成甚为方便。因此,使用任一能够获得峰面积或峰高的软件工具都可以进行XRD定量分析,当然,有Jade 软件更为方便。






欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD残余应力检测


XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


如何由粉末衍射数据通过 FullProf 提取结构因子?

首先需要一个 dat 文件,行,2theta 起点,步长,终点,下面是每个点的强度。下面需要编写 pcr 文件,先得到六个晶胞参数,零点,还要得到 18-30 个背景点,才能开始 编写,其他参数设置可以看说明书。

如果你以前用 Fullprof精修过结构,XRD残余应力检测费用多少,则只需修改如下参数:Line 11-2 的 N(number of atoms in asymmetric unit)参数置为 0,相应的下面与原子有关的参数 就不要了;Line 11-2 的 JBT 参数(2,-2,3 或-3,具体看说明)。至于要输出什么样格式的结构因 子数据文件,可以通过 LINE 3 的 JFOU 参数来控制。




欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD残余应力检测


XRD残余应力检测服务-半导体研究所-天津XRD残余应力检测由广东省科学院半导体研究所提供。“结构性能测试,光电性能测试,性能形貌测试”选择广东省科学院半导体研究所,公司位于:广州市天河区长兴路363号,多年来,半导体研究所坚持为客户提供好的服务,联系人:王小姐。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。半导体研究所期待成为您的长期合作伙伴!

广东省科学院半导体研究所

联系人:
王小姐(女士)
电话:
020-61086420
手机:
13560436009
地址:
广州市天河区长兴路363号
行业
技术合作 广州技术合作
我们的其他产品
拨打电话
QQ咨询
请卖家联系我