XRD摇摆曲线检测机构 半导体薄膜测试机构

XRD摇摆曲线检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，其测试的精度、重复性、效率等因素为业界所重点关注。对应产品目前业界有两种主流技术流派：1）以美国FSM、KLA、TOHO为代表的双激光波长扫描技术（线扫模式），尽管是上世纪90年代技术，但由于其简单，适合常规Fab制程中进行快速QC，至今仍广泛应用于相关工厂。2）以美国kSA为代表的MOS激光点阵技术，抗环境振动干扰，精于局部区域内应力测量，这在研究局部薄膜应力均匀分布具有特定意义。线扫模式主要测量晶圆薄膜整体平均应力，XRD摇摆曲线检测价格，监控工序工艺的重复性有意义。但在监控或精细分析局部薄膜应力，激光点阵技术具有特殊优势，比如在MEMS压电薄膜的应力和缺陷监控。

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在布鲁克的自带软件中有一个软件叫做TOPAS，能做这方面的工作，但是，真正会用的人可能不是很多。在帕纳科的 xpert highscore里也有一个模块，可以做这个工作。理学电机的仪器使用美国的软件JADE。为什么JADE里没有这样的模块呢？其实是有的。你看过它的菜单Opti里有一个灰色的命令叫做“Easy ”(快速定量)的东西吗？有的人安装上JADE后，一看这个东西是灰色的，总以为自己的软件来路不正，是不是少了什么。可以说，真的没少什么。因为本来就没有这个东西。我们在买Jade 5时就期望这个东西在新版本中变成黑的。但是，买了Jade 6以后，这个东西还是灰的。但是，也可以说真的是少了点东西。少了定量这一块。原因就是这一块需要单独购买。因为大家都不买，所有大家都没得用。我不知道为什么大家都不买。我想不是因为大家都象我一样穷，可能的原因是，软件公司先有了菜单，后来想做这个程序，可能原先的想法相当于前面提到的半定量，帕纳科的软件里就有这个东西。但是，后来没有做了，因为技术进步了，形势改变了。现在干脆做成了一个很复杂的东西。这个东西也通过全谱拟合的方法来做定量分析。据说，这个东西的功能很强大，但是，要钱买。我没钱，没有买，河南XRD摇摆曲线检测，因此也不知道到底怎么样。据说国内有人买了。不知道用得如何。另外，XRD摇摆曲线检测机构，通过一些非X射线衍射的软件也能做这些工作，很多前辈在期刊上发表过一些。大家可以参考。

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有没有更好的办法？

历史在前进，技术在进步。60年代就有人(Riteveld)提出用“全谱拟合”的思想。所谓全谱拟合，就是用一个假想的函数来拟合实测的衍射谱。通过一步一步地迭代，使假想函数与实测线形的差别达到可能的小值。

这个过程中，首先要输入的是样品中每个物相的晶体结构，通常需要精细的晶体结构，包括原子位置等等。考虑的因素也很多，比如晶格畸变、微观应变、原子错位等等。一步一步地进行，总会得到一个终的值。

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