浙江XRD物相分析检测 半导体XRD薄膜测试

XRD物相分析检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，浙江XRD物相分析检测，以及行业应用技术开发。

X射线测量技术已经被逐步应用于半导体集成电路芯片的生产制程中。在半导体生产制程中，硅晶圆内部的不可视缺陷 (NVD， Non-Visual Defect) 以及晶圆破片(Wafer Breakage)是器件生产中面临的严重问题，导致良率降低、制造成本增加、生产机器诊断和维护成本增加等。晶圆内部出现的不可视微裂纹可能会导致晶圆的破片，位错和滑移带等类型的内部晶格缺陷会降低电子设备的性能和良率。

X射线衍射成像（XRDI， X-ray diffraction imaging）技术，XRD物相分析检测机构，亦称为X射线形貌相 （XRT， X-ray Topography）技术，能够以非常高的应变敏感性对晶圆的表面以及晶圆内部的位错、滑移带、微裂纹等各种不可视缺陷（NVD）进行成像。在晶圆制造中，可以抽检晶圆，进行XRDI检测，及时发现每道工段站点有无产生、诱发新的晶圆缺陷。XRDI技术依据缺陷形态和尺寸判断所产生的缺陷是否会在后续工段导致晶圆，以便有效规避晶圆、良率降低等风险，XRD物相分析检测服务，及时发现各工段的生产设备导致缺陷产生的问题，减少生产机器的清洗与维护成本。

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同系列对比检索。

如果同时做的样品不止一个，而是一个系列。这个系列中的物相在变化。那么对比它们的图谱变化情况，就可能看出，哪些峰属于一个相，而另一组峰属于另一个相。再根据这些峰的位置来查找物相，也是一种检索的办法。

考虑实验条件。

有些时候实在分析不出来了，你可以考虑一下，你的样品是否有可能氧化、硫化、氯化等变数。往往就是这些原因，困住了你。把这些元素加入进去，也许一键敲定了。

天然还是人工合成。

一般来说，大自然形成的东西（天然矿物）的晶体结构比较简单，分子式不可能很复杂，人工合成则是另一码事，好象越复杂的东西越体现了水平。因此，如果分析天然矿物，不要选那种10个字符以上的分子式作为结果。

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Fullprof精修中的 scale 的初值一般是怎么确定的?

比例因子 scale 是指理论计算数据与实验数据之间的比值，一般随便给就可以，不会影响精 修的。只要你的初始模型正确，几轮就可以修到比较合理的值。

做Rietveld 时发现：如果事先对原始数据进行平滑等一系列的预处理会比较容易使R 因子 减小，XRD物相分析检测价格，这样的做法是否不妥？

做 Rietveld 时，是不需要对数据进行平滑处理的，因为平滑处理肯定会使数据在一定程度上失真的。不过，在不影响峰形的前提下进行轻度的平滑处理也是可以的。

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