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- 2023-04-05 12:29:46
XRD物相分析检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
然后再通过这个函数的强度来计算物相的含量。当然,这个思想不全是为了物相的定量计算,可能得到的数据多种多样。包括的晶胞参数、微观应变、晶粒尺寸等等,不一而足。使用这样的程序需要你掌握较好的晶体学知识(不是那种仅仅知道晶体是有序排列的知识水平),而且还要知道物相的晶体结构,以及对X射线衍射较深的掌握。
有一个程序,叫做Maud,是一个什么国家的人写的,我懒得去看了,这个程序就能做。不过,这个人可能太忙或者太懒或者认为自己的程序还没有达到要写一个使用说明的程度,因此,他还没有写出一个帮助文件来。一切都靠自己去摸索,摸透了的就能用,也许花上几个月时间还没有摸出头绪来也是可能的。
欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~XRD物相分析检测
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XRD测试分析下面通过一些问答形式给讲解物相定量分析的重点知识。
1、为什么不能做物相定量?
样品往往不是单一物相,因此,人们总想了解其中某种相的含量。人们的理解总是认为哪怕只是一种近似的结果也比没有结果要好。
为了要说明定量分析的问题,我们还是了解一下一张X射线衍射谱图中包含一些什么信息。这些信息主要有三个方面。也是三个方面的应用:
(1)衍射峰的位置
这方面的信息主要用于物相的鉴定、晶胞参数的精修、残余应力的测量。
(2)衍射峰的峰高或者面积,我们称之为强度
这方面的信息主要用于物相的含量、结晶度以及织构的计算。
(3)衍射峰的形状,我们称为线形
这方面的信息又包括两个方面。其一是衍射峰的宽度,重庆XRD物相分析检测,我们可以用来计算亚晶尺寸的大小(常被称为晶粒大小)和微观应变的计算。另一个则是线的形状,主要是指峰形是否对称,这方面用来计算位错、层错等。不过,后者做的人少,研究也不是很完全,XRD物相分析检测费用多少,因此应用不是很广泛。
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强度到底应该如何表示?
前面已经提到,衍射强度的定义与RIR值的定义有差别。因此,在计算物相的质量分数时到底应当用峰高还是用积分面积来作为衍射强度呢?如果使用峰高,XRD物相分析检测机构,则与衍射的积分强度定义相背,肯定会带来误差,如果使用积分强度,又与RIR值定义相背。因此,XRD物相分析检测哪里可以做,不论你使用哪个值来作为强度都会存在较大的误差。
现在,我们来看看,误差到底从哪里出来的。上面已经提到,只有当衍射峰的半高宽完全相同时,衍射峰高与面积相当。那么,在什么情况下会出现衍射峰的宽度不同呢?
(1)衍射峰宽度是衍射角的函数,不同衍射角的衍射峰宽度是不同的。这一点我们很能看得明白,低角度的衍射峰总是较窄,但当衍射角较高时,我们看到的衍射峰低而宽,有时漫散得我们都不想把它们扫描出来。
(2)不同晶粒尺寸的衍射峰宽度是不同的。细晶粒物相的衍射峰低而宽,结晶完好的粗晶粒物相的衍射峰锐而窄。
(3)存在应力的样品,同样使衍射峰变宽。
(4)如果存在微观的缺陷,会使衍射峰的线形变化,也会影响面积与峰高的关系。
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