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锂电XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在teau 退火条件下的晶圆边缘产生了高密度缺陷，导致了晶圆边缘的应变集中区。每条缺陷对应于每条滑移带。这些滑移带都是lt;011gt;取向，对应于四个倾斜的{111}滑移面上1/2lt;110gt;的柏格斯矢量。通过选区高分辨率模式的XRDI测量结果可发现更小的滑移带，也都是对应于lt;011gt;取向。这些滑移带都是起源于晶圆的边缘，然后向晶圆的内部扩散。

在spike 退火条件下的晶圆的左下方边缘只有少数尺寸很小的缺陷。这些缺陷需要在更大倍率的XRDI下才能看清楚。一些研究表明，在1320K以下晶圆没有明显的滑移线出现。当温度大于1320K的时候，滑移线开始明显增加，而且与退火时间成一定的线性关系。这也与一些原位试验的结果一致。当温度升高，位错会加速扩展并形成大的滑移带。这些表明，在该spike退火条件下，晶圆边缘有一定的位错源，但是位错的扩散得到了很好的阻止。

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假如我使用几种强度的表示方法来计算含量呢？

通过X射线衍射分析软件的“寻峰”功能。我们能得到衍射峰的峰高和峰面积，你不妨试试分别通过峰高和峰面积来计算物相的含量，然后再作个平均，也许会比单纯地使用峰高或峰面积来计算结果一些。你会做峰形拟合吗？

X射线衍射峰的线形总是一种“钟罩”形函数，锂电XRD检测价格，或者说可以使用一种钟罩形函数来拟合。你可以选择不同的峰形函数来做峰的拟合，看看哪个的误差小，说明衍射峰能使用这种函数来拟合。拟合完成后，拟合函数的高度、宽度和面积就会列表出来。

这时，你又得到一组强度数据，分别用高度和面积计算物相含量，会得到怎样的结果呢？当然也可以加入到前面的两种结果中，锂电XRD检测多少钱，作一个4个结果的平均。这只是我的建议，并非一定要这么做。当衍射峰没有重叠，没有宽化，没有变形时，4种结果没有多少差别。只有当存在这些因素时，才会出现差别。如果峰形重叠，使用拟合能将重叠峰分离开来，以消除其它物相附加的强度，单纯的寻峰是不能做到这一点的。但是，拟合时要特别注意背景线的取舍，河南锂电XRD检测，拟合得不好可能会产生很大的误差。拟合峰数据用来计算一些粘土矿物的含量时，显得尤为有意义。因为这些物相的峰形往往不对称，矮而宽，底部拖得特别宽，而且多有重叠。单纯的寻峰数据使物相含量的计算结果偏小。不过，用拟合数据计算出来的又往往偏高。两者中和一下，也许与真实的结果差不离了。

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我现在做介孔材料。介孔(孔径 2-50nm)在材料中成有序排列，象晶格一样的排列在材料中，孔壁、材料为非晶相。为什么 XRD 能粗测孔与孔的间距？我了解到的是，孔成有序排列，所以在小角度会有衍射峰，(001)面的峰值和孔径有关。但我不知道为什么?

跟长周期有关：大的孔需要大的周期，或者说是"孔面"间距，类似于"晶面间距"。"孔"意味晶体中该区域没有原子填充，没有填充原子就无衍射峰。而孔洞的边界是原子紧密排列的，原子密度相对较高，对应产生较强的衍射，强度较大。

大孔孔径大，空间重复周期大（即长周期），对应的晶面距大，产生的衍射在小角区。所说的（001）有强线对应的材料的晶体 C 轴较长，如果第是（100）则 A 轴较长。

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