半导体XRD研究所 特别行政XRD物相分析检测

XRD物相分析检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

相图是一定要查的。

在合金样品的物相鉴定中，图谱与标准PDF卡片上的数据往往有差异，甚至于某些相的某些峰根本不会出现。如果不知道相图，就只能一阵乱猜了。在检索卡片之前，看图，做到心中有数。实际上，很多时候不是按图谱来检索卡片，而是，相反地，XRD物相分析检测哪里可以做，输入卡片，查看是不存在某物相。

经验很重要。

有些检索参数，如FOM，只能做为参考。从对图谱的情况来说，当然是FOM越小越好，但，有时偏偏就是要取那种FOM很大，甚至达到99.99的卡片。这就是经验，也是以上几点的综合运用了。

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XRD图谱的峰位.峰宽，峰高，XRD物相分析检测测试，分别代表什么，假如知道待测物质，如何观察，和需要看些什么。

峰位：如果不知道待测物质是什么，通过峰位可以算出晶格常数，从而确定物质.如果已经知道了物质，算出的晶格常数应该跟你知道的物质的晶格常数差不多，差量可能是内应力引起的.可以据此分析内应力.

峰宽：如果是单晶，那就代表了结晶的好坏，多晶的话还跟晶粒的大小有关.

峰高：一般各峰的相对高度比较有参考价值，XRD物相分析检测哪家好，反映的是晶体取向度和织构的信息.

当然峰位、峰高和峰宽是要综合起来看的，而且跟多相，单相，有没有杂质，单晶还是多晶都有关系。

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小角X射线散射（Small Angle X-ray Scattering)和小角X射线衍射(Small angle x-ray diffraction)是一回事吗？

早期小角 X 射线散射仅指超细颗粒在低角度范围（常指2θlt;20°）上的 X射线散射，而现在，小角X射线散射通指在低角度范围（常指 2θlt;10°~20°）的 X 射线散射。

X-射线照射到晶体上发生相干散射（存在位相关系）的物理现象叫衍射，即使发生在低角度也是衍射。例如，某相的d值为 31.5?，相应衍射为2.80°（Cu-Kα），如果该相有很高的结晶度，31.5?峰还是十分尖锐的。薄膜也能产生取决于薄膜厚度与薄膜微观结构的、集中在小角范围内的 X 射线衍射。在这些情况下，样品的小角X射线散射强度主要来自样品的衍射，称之为角X射线衍射。对这类样品，人们关心的是其的 d 值或者是薄膜厚度与结构，必须研究其小角X射线衍射。

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