新疆维吾尔自治大功率XRD检测 半导体研究所

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大功率XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。

目前,椭偏仪是测量透明、半透明薄膜厚度的主流方法,它采用偏振光源发射激光,当光在样本中发生反射时,会产生椭圆的偏振。椭偏仪通过测量反射得到的椭圆偏振,并结合已知的输入值计算出薄膜的厚度,是一种非破坏性、非接触的光学薄膜厚度测试技术。在晶圆加工中的注入、刻蚀和平坦化等一些需要实时测试的加工步骤内,椭偏仪可以直接被集成到工艺设备上,大功率XRD检测多少钱,以此确定工艺中膜厚的加工终点。





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相图是一定要查的。

在合金样品的物相鉴定中,图谱与标准PDF卡片上的数据往往有差异,甚至于某些相的某些峰根本不会出现。如果不知道相图,就只能一阵乱猜了。在检索卡片之前,看图,做到心中有数。实际上,很多时候不是按图谱来检索卡片,而是,新疆维吾尔自治大功率XRD检测,相反地,输入卡片,查看是不存在某物相。

经验很重要。

有些检索参数,如FOM,只能做为参考。从对图谱的情况来说,当然是FOM越小越好,但,有时偏偏就是要取那种FOM很大,甚至达到99.99的卡片。这就是经验,也是以上几点的综合运用了。




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小角X射线散射(Small Angle X-ray Scattering)和小角X射线衍射(Small angle x-ray diffraction)是一回事吗?

早期小角 X 射线散射仅指超细颗粒在低角度范围(常指2θlt;20°)上的 X射线散射,而现在,小角X射线散射通指在低角度范围(常指 2θlt;10°~20°)的 X 射线散射。

X-射线照射到晶体上发生相干散射(存在位相关系)的物理现象叫衍射,即使发生在低角度也是衍射。例如,某相的d值为 31.5?,相应衍射为2.80°(Cu-Kα),如果该相有很高的结晶度,31.5?峰还是十分尖锐的。薄膜也能产生取决于薄膜厚度与薄膜微观结构的、集中在小角范围内的 X 射线衍射。在这些情况下,大功率XRD检测测试,样品的小角X射线散射强度主要来自样品的衍射,称之为角X射线衍射。对这类样品,人们关心的是其的 d 值或者是薄膜厚度与结构,必须研究其小角X射线衍射。




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