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直线轴X的误差测量与补偿

　　激光干涉仪直线轴测量原理：激光干涉仪是一种测量长度的仪器，光具有波粒二象性，宜昌磨齿液胀，利用激光的波长为标准，两束相干光在传播过程中就会形成干涉，并在激光器上得到明暗相间的条纹。激光的波长较为稳定，每个条纹之间的距离及为激光的一个波长，激光头利用这些条纹，通过式(3)即可得到被测物体的移动距离。

式中：N—累计脉冲数;

　　 λ—激光波长;

　　 c—光速;

　　 v—移动反光镜的移动速度。

　　在实际机床误差测量工作中使用的是雷尼绍公司的双频激光干涉仪，其除了利用光的干涉原理还使用多普勒效应产生的频率变化对机床的各轴进行位置检测。针对数控磨齿机直线轴的螺距误差，其工作原理

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通过摆线轮数控磨齿机介绍了数控机床直线轴的滚珠丝杆传动机构与回转轴转台的位置精度的测量方法，针对磨齿机的各轴定位精度提出了合理的误差补偿依据及方法，并通过数据验证分析其补偿效果。利用英国雷尼绍的激光干涉仪及各种光学镜组对西门子840d数控磨齿机进行实验，对测量的数据进行分析，结合其工作原理得到该机床误差补偿图表，再利用误差补偿技术对该摆线轮磨齿机各轴误差进行补偿。结果表明，要提高数控机床几何精度改善机床性能，对直线轴滚珠丝杆的螺距误差补偿和回转轴转角误差补偿是一种合理且经济的方法。

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车齿工艺是基于双自由度齿轮啮合原理的圆柱齿轮加工工艺，具有材料去除率高、成形精度好等优点。与传统滚齿、插齿相比，车齿工艺加工效率更高，且对内齿轮与非贯通齿轮具有突出的适应性， 因此在 20 世纪初被提出以来即受到广泛关注。

　　但由于机床和刀具技术限制，车齿工艺存在加工精度低、表面质量差和刀具寿命短等问题，其产业化应用在很长一段时期内未能实现突破。近年来，广大学者针对加工精度、刀具性能做了广泛的研究，并取得了一系列成果。

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