黑龙江XRD物相分析检测 半导体XRD物相分析

XRD物相分析检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

XRD小角度测试X 射线散射效益来自于物质内部1～100nm 量级范围内电子密度的起伏。对于完全均匀的物质，XRD物相分析检测测试，其散射强度为零。

当出现第二相或不均匀区时才会发生散射，且散射角度随着散射体尺寸的增大而减小。

XRD小角度测试X射线散射强度受粒子尺寸、形状、分散情况、取向及电子密度分布等的影响。

对于稀疏分散、随机取向、大小和形状一致，且每个粒子内部具有均匀电子密度的粒子组成体系， 对于不规则形状的粒子体系，其散射强度不同，表现为散射函数不同。

同样，具有一致取向的粒子构成的稀疏粒子体系与无取向的粒子体系的散射强度也不同。

XRD小角度测试X射线散射可测尺寸分布，回旋半径，相关距离，平均壁厚，分形维度，以及分数等，可提供变温(室温~230°C)，原位拉伸散射测试。

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薄膜样品在基底上以二维形式存在，通常在平行厚度方向或者面内方向具有强烈的各向异性。因此，XRD物相分析检测哪里可以做，一般我们讨论材料的性能和特点时一般有两个方向，一个是沿厚度方向，另一个是面内方向（晶面垂直于宏观平面生长的方向）。我们对薄膜的表征包含晶格常数，晶格畸变，晶体取向以及晶粒尺寸等。此外，薄膜分析通常包括薄膜特有的结晶相、亚稳相、外延薄膜中的畸变/弛豫等。

除上述外，X射线反射率的方法可以被用来表征薄膜的各种特征，例如厚度，黑龙江XRD物相分析检测，密度，粗糙度等。该方法适用于晶态、非晶态以及多层膜的表征。

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布拉格定律

当一束具有一定波长λ的X射线照射到多晶体上时，会在一定的衍射角2θ上接收到反射的X射线强度极大值(即衍射峰)，这便是X射线衍射现象，如图1所示。X射线波长λ、衍射晶面间距d和布拉格角θ之间满足公式(1)。在X射线衍射残余应力分析中，XRD物相分析检测机构，选用合适靶材的X射线管，即选定合适的波长λ，通过衍射装置测定衍射角2θ，就可以计算出相应晶面的晶面间距d。

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